北京華(hua)卓精(jing)科科技(ji)股(gu)份有限公司成立于2012年5月9日(ri),主(zhu)(zhu)營(ying)業務為(wei)集(ji)成電路(lu)制造(zao)裝備(bei)及(ji)關鍵(jian)零(ling)部件的研(yan)發和產業化。目前產品包括超精(jing)密(mi)運動(dong)平臺(tai)、激光退火設備(bei)、晶(jing)圓(yuan)(yuan)鍵(jian)合設備(bei)、晶(jing)圓(yuan)(yuan)傳輸系(xi)統、主(zhu)(zhu)被動(dong)隔振器(qi)、靜電卡盤(pan)、精(jing)密(mi)測(ce)量系(xi)統等(deng)整機設備(bei)及(ji)半(ban)導體關鍵(jian)零(ling)部件,主(zhu)(zhu)要應(ying)用(yong)于集(ji)成電路(lu)芯片制造(zao)、先(xian)進(jin)封裝、功率(lv)器(qi)件制造(zao)等(deng)產線,并在電子制造(zao)、激光加(jia)工等(deng)技(ji)術(shu)領域實(shi)現廣泛應(ying)用(yong)。
公司注冊資金9600萬, 成立時間為2012年5月9日,正式營業時間為2012年8月15日。公司現有團隊200人左右。2015年8月10日,有限公司(si)整體變更為(wei)股份(fen)有限公司(si)。華卓精(jing)科面(mian)(mian)向國內外的IC制(zhi)造(zao)、光學、超(chao)精(jing)密(mi)制(zhi)造(zao)等行(xing)業(ye),致力于為(wei)行(xing)業(ye)提供整機裝備(bei)、核心子系(xi)統(tong)、關鍵零部件和(he)定(ding)制(zhi)服務,主營產品(pin)包(bao)含(han)整機、超(chao)精(jing)密(mi)運動系(xi)統(tong)、精(jing)密(mi)儀器(qi)設備(bei)和(he)特種(zhong)制(zhi)造(zao)等方面(mian)(mian)。
華卓精(jing)科以國內高校的原發(fa)技術(shu)為基(ji)礎,經(jing)過多年技術(shu)攻關和客戶實用(yong),形成(cheng)了(le)堅實規范的技術(shu)研發(fa)體系,現在已經(jing)成(cheng)功(gong)推出了(le)光刻機雙(shuang)工件臺、精(jing)密(mi)(mi)隔振、超精(jing)密(mi)(mi)運動系統、關鍵零部件等(deng)系列化產品。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL200910172949.9 | 采用氣浮平面電機的硅片臺雙臺交換系統 | 第二十屆中國專利銀獎(2018年) |