北(bei)京(jing)華卓(zhuo)精科科技(ji)(ji)股份有限公司(si)成立于2012年5月9日,主營業務為集(ji)成電路制造(zao)裝備及(ji)關鍵(jian)零(ling)部件的研發和(he)產(chan)業化(hua)。目前產(chan)品包括超精密運(yun)動(dong)平臺、激(ji)光退火設備、晶圓(yuan)鍵(jian)合設備、晶圓(yuan)傳輸系統、主被動(dong)隔振器、靜電卡盤(pan)、精密測量系統等整機(ji)設備及(ji)半導體關鍵(jian)零(ling)部件,主要(yao)應用于集(ji)成電路芯片制造(zao)、先(xian)進(jin)封裝、功率器件制造(zao)等產(chan)線,并在電子制造(zao)、激(ji)光加工等技(ji)(ji)術領域(yu)實現(xian)廣泛應用。
公司注冊資金9600萬, 成立時間為2012年5月9日,正式營業時間為2012年8月15日。公司現有團隊200人左右。2015年8月10日(ri),有限(xian)公司(si)整體變更為股份有限(xian)公司(si)。華卓精(jing)科面(mian)向國(guo)內外的IC制造、光學(xue)、超(chao)精(jing)密(mi)制造等(deng)行(xing)業,致(zhi)力于為行(xing)業提(ti)供(gong)整(zheng)(zheng)機裝備、核心子系(xi)統、關鍵零部件(jian)和定(ding)制服務,主(zhu)營產(chan)品包含整(zheng)(zheng)機、超(chao)精(jing)密(mi)運動系(xi)統、精(jing)密(mi)儀(yi)器設備和特(te)種制造等(deng)方面(mian)。
華卓精(jing)科以(yi)國(guo)內高校的(de)(de)原(yuan)發技術(shu)(shu)為基礎,經(jing)過多年技術(shu)(shu)攻關(guan)和客戶實用,形成(cheng)了堅實規(gui)范的(de)(de)技術(shu)(shu)研發體(ti)系(xi)(xi),現在已經(jing)成(cheng)功推出了光刻機雙工件臺、精(jing)密(mi)隔振、超精(jing)密(mi)運動系(xi)(xi)統(tong)、關(guan)鍵零部件等系(xi)(xi)列化產品。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL200910172949.9 | 采用氣浮平面電機的硅片臺雙臺交換系統 | 第二十屆中國專利銀獎(2018年) |