盛美成立于(yu)(yu)2005年,是一家注冊在上海浦東新區(qu)張江高科技(ji)園區(qu)、具備世界先(xian)(xian)進(jin)(jin)技(ji)術的(de)半(ban)(ban)(ban)導體設(she)(she)備制造(zao)(zao)商。公司集研(yan)發(fa)(fa)、設(she)(she)計、制造(zao)(zao)、銷售于(yu)(yu)一體,主(zhu)要產(chan)品包(bao)括半(ban)(ban)(ban)導體清(qing)洗(xi)設(she)(she)備、半(ban)(ban)(ban)導體電鍍設(she)(she)備和(he)先(xian)(xian)進(jin)(jin)封裝濕(shi)法設(she)(she)備等(deng)。公司堅持差異化競爭和(he)創新的(de)發(fa)(fa)展戰略,通過自主(zhu)研(yan)發(fa)(fa)的(de)單(dan)片兆聲波清(qing)洗(xi)技(ji)術、單(dan)片槽式組合清(qing)洗(xi)技(ji)術、電鍍技(ji)術、無應力拋光(guang)技(ji)術和(he)立式爐管技(ji)術等(deng),向全球晶(jing)圓制造(zao)(zao)、先(xian)(xian)進(jin)(jin)封裝及(ji)其他客戶提供定(ding)制化的(de)設(she)(she)備及(ji)工(gong)藝(yi)解決方案,有效提升(sheng)(sheng)客戶的(de)生產(chan)效率、提升(sheng)(sheng)產(chan)品良(liang)率并降低(di)生產(chan)成本。
盛(sheng)美具有高新技術(shu)(shu)(shu)企(qi)業資(zi)質,承擔十(shi)一五國家(jia)科技重(zhong)大專項課題“65-45nm銅互連無應(ying)力(li)拋光設備(bei)(bei)研(yan)(yan)發(fa)項目”的(de)研(yan)(yan)發(fa)和(he)十(shi)二五國家(jia)科技重(zhong)大專項課題“20-14nm銅互連鍍銅設備(bei)(bei)研(yan)(yan)發(fa)與應(ying)用”和(he)“45-22納米(mi)單(dan)片晶圓清(qing)洗(xi)裝備(bei)(bei)研(yan)(yan)發(fa)與應(ying)用”的(de)研(yan)(yan)發(fa)。公司立足自(zi)主(zhu)創(chuang)(chuang)新,通過多年的(de)技術(shu)(shu)(shu)研(yan)(yan)發(fa)和(he)工藝積(ji)累,成功研(yan)(yan)發(fa)出全球(qiu)首創(chuang)(chuang)的(de) SAPS/TEBO 兆聲波清(qing)洗(xi)技術(shu)(shu)(shu)和(he) Tahoe 單(dan)片槽式組合(he)清(qing)洗(xi)技術(shu)(shu)(shu),可應(ying)用于 28nm及以下(xia)技術(shu)(shu)(shu)節(jie)點的(de)晶圓清(qing)洗(xi)領(ling)域,可有效解決刻蝕后有機(ji)沾污和(he)顆粒的(de)清(qing)洗(xi)難題,并大幅減少(shao)濃硫酸等化學試劑的(de)使用量,在(zai)幫(bang)助客戶(hu)降(jiang)低(di)生產成本的(de)同(tong)時,滿足節(jie)能減排的(de)要(yao)求(qiu)。
盛(sheng)美憑(ping)借先進的(de)技術和豐富的(de)產(chan)品線(xian),已發展成為中(zhong)國(guo)大(da)陸少數具有一定國(guo)際競(jing)爭力的(de)半導體專用設(she)備提供商,產(chan)品得(de)到眾(zhong)多國(guo)內外(wai)主流半導體廠商的(de)認(ren)可,并取得(de)良好(hao)的(de)市場口(kou)碑(bei)。