著錄信息
- 專利名稱：一種電子管排氣臺
- 專利類型：實用新型
- 申請號：CN201120105152.X
- 公開(公告)號：CN202018941U
- 申請日：20110412
- 公開(公告)日：20111026
- 申請人：成都旭光電子股份有限公司
- 發明人：曾朝東,韓建軍
- 申請人地址：610500 四川省成都市新都區電子路172號
- 申請人區域代碼：CN510114
- 專利權人：成都旭光電子股份有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：H01J9/385
- 優先權：無
- 專利代理機構：無
- 代理人：無
- 審查員：無
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進入國家日期：無
- 分案申請：無
關鍵詞
機械泵,烘箱,電源,擴散泵,排位,電氣控制系統,電子管,超高真空,流量閥,工作臺,電控,冷阱,毛刺,冷卻空氣管路,擴散泵電源,燈絲電源,控制線路,冷卻空氣,陽極電源,真空管路,離子流,排氣臺,連接,排氣,底部,頂部,能耗
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