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專利名稱：石英舟檢具
專利類型：實用新型
申請號：CN201620887473.2
公開(公告)號：CN205898002U
申請日：20160816
公開(公告)日：20170118
申請人：常州億晶光電科技有限公司
發明人：吳俊,鄒海軍,吳佳俊,王少華,吳家宏,張凱勝,姚偉忠,孫鐵囤
申請人地址：213213 江蘇省常州市金壇市堯塘鎮金武路18號
申請人區域代碼：CN320482
專利權人：常州億晶光電科技有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：G01B5/00
優先權：無
專利代理機構：常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙) 32258
代理人：鄭云
審查員：無
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞(ci)

石英舟,底板,自動化設備,定位座,本實用新型,檢具,卡槽,立柱,滑動設置,間距分布,檢測設備,判斷標準,基準槽,硅片,產能,滑片,匹配,破損,檢驗,統一

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