著錄信息
- 專利名稱:一種GaN基發光二極管芯片的制備方法
- 專利類型:發明
- 申請號:CN201410594339.9
- 公開(公告)號:CN104300048B
- 申請日:20141029
- 公開(公告)日:20170215
- 申請人:山東浪潮華光光電子股份有限公司
- 發明人:劉巖,馬玉玲,彭璐,徐現剛
- 申請人地址:261061 山東省濰坊市高新區金馬路9號
- 申請人區域代碼:CN370705
- 專利權人:山東浪潮華光光電子股份有限公司
- 洛迦諾分類:無
- IPC:H01L33/02
- 優先權:無
- 專利代理機構:濟南日新專利代理事務所 37224
- 代理人:王書剛
- 審查員:劉天飛
- 國際申請:無
- 國際公開(公告):無
- 進入國家日期:無
- 分案申請:無
關鍵詞
光刻膠,去除,制備,干法刻蝕,芯片表面,刻蝕,殘留,等離子體去除,生產周期,表面殘留,表面生長,刻蝕氣體,工藝流程,鈍化層,面結構,芯片,制作,保證
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