著錄信息
- 專利名稱:一種制備球狀光刻膠掩膜的方法
- 專利類型:發明
- 申請號:CN201210087907.7
- 公開(公告)號:CN103367558B
- 申請日:20120329
- 公開(公告)日:20161130
- 申請人:山東浪潮華光光電子股份有限公司
- 發明人:王德曉,劉存志,王成新,沈燕,任忠祥
- 申請人地址:261061 山東省濰坊市高新區金馬路9號
- 申請人區域代碼:CN370705
- 專利權人:山東浪潮華光光電子股份有限公司
- 洛迦諾分類:無
- IPC:H01L33/00,H01L21/027,G03F7/00
- 優先權:無
- 專利代理機構:濟南金迪知識產權代理有限公司 37219
- 代理人:呂利敏
- 審查員:王勇
- 國際申請:無
- 國際公開(公告):無
- 進入國家日期:無
- 分案申請:無
關鍵詞
制備,光刻膠顆粒,腐蝕,光刻膠掩膜,金屬圓環,光刻膠,襯底,次光,熱熔,形貌,長圓柱體,技術難題,球狀形貌,形貌可控,長圓柱,短圓柱,高反射,可控性,異形柱,光刻,掩膜,半導體
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