著錄信息
- 專利名稱:化學浴沉積設備和制備ZnS薄膜的方法
- 專利類型:發明
- 申請號:CN201510166863.0
- 公開(公告)號:CN104762611B
- 申請日:20150409
- 公開(公告)日:20170531
- 申請人:深圳先進技術研究院,香港中文大學
- 發明人:張倩,楊春雷,顧光一,熊治雨,王婷婷,程亞,肖旭東
- 申請人地址:518055 廣東省深圳市南山區西麗大學城學苑大道1068號
- 申請人區域代碼:CN440305
- 專利權人:深圳先進技術研究院,香港中文大學
- 洛迦諾分類:無
- IPC:C23C18/00
- 優先權:無
- 專利代理機構:廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
- 代理人:吳平
- 審查員:王姍
- 國際申請:無
- 國際公開(公告):無
- 進入國家日期:無
- 分案申請:無
關鍵詞
薄膜太陽能電池,化學浴沉積,反應器皿,反應面,化學浴,液面,沖刷,制備,分部,薄膜材料,厚度可控,均勻致密,快速制備,制造成本,緩沖層,薄膜,應用
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