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著錄信息

  • 專利名稱:一種等離子體增強化學氣相沉積的控制系統
  • 專利類型:發明
  • 申請號:CN201310676060.0
  • 公開(公告)號:CN103834934B
  • 申請日:20131211
  • 公開(公告)日:20160511
  • 申請人:南方科技大學
  • 發明人:何祝兵,王春柱,蘇奇聰
  • 申請人地址:518000 廣東省深圳市南山區西麗學苑大道1088號
  • 申請人區域代碼:CN440305
  • 專利權人:南方科技大學
  • 洛迦諾分類:
  • IPC:C23C16/52
  • 優先權:
  • 專利代理機構:廣州三環專利代理有限公司 44202
  • 代理人:郝傳鑫;熊永強
  • 審查員:金桂香
  • 國際申請:
  • 國際公開(公告):
  • 進入國家日期:
  • 分案申請:

關鍵詞

控制設備組,監控設備,工藝操作,以太網交換機,數據處理,等離子體增強化學氣相沉積,數據記錄查詢,參數配置,控制工藝,控制系統,實時監控,遠程監控,反應室,裝載室,連接,一種,執行,傳輸,操作,滿足,公開
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