著錄信息
- 專利名稱:穿通型碳化硅絕緣柵雙極型晶體管的制備方法
- 專利類型:發明
- 申請號:CN201410163736.0
- 公開(公告)號:CN103928322B
- 申請日:20140421
- 公開(公告)日:20160817
- 申請人:西安電子科技大學
- 發明人:郭輝,翟華星,宋慶文,張藝蒙,張玉明,湯曉燕
- 申請人地址:710071 陜西省西安市太白南路2號
- 申請人區域代碼:CN610113
- 專利權人:西安電子科技大學
- 洛迦諾分類:無
- IPC:H01L21/331,H01L21/265
- 優先權:無
- 專利代理機構:陜西電子工業專利中心 61205
- 代理人:王品華;朱紅星
- 審查員:周天微
- 國際申請:無
- 國際公開(公告):無
- 進入國家日期:無
- 分案申請:無
關鍵詞
襯底正面,絕緣柵雙極型晶體管,襯底背面,碳化硅,制備,離子,刻蝕柵氧化層,淀積金屬,多晶硅柵,高溫退火,工藝步驟,集電極區,結構性能,開關電源,拋光氧化,體接觸區,外延生長,引出電極,照明電路,發射區,緩沖層,耐壓層,逆變器,切割面,襯底,穿通,淀積,光刻,減薄,可用,切割,背面,激活,生長
網站提醒和聲明
免責(ze)聲明(ming):
本站為(wei)會員提供信息(xi)存(cun)儲空(kong)間服務(wu),由于(yu)更新時間等問題(ti),可能存(cun)在信息(xi)偏差的情況,具體請以品牌企(qi)業(ye)官(guan)網信息(xi)為(wei)準(zhun)。如有侵權、錯誤(wu)信息(xi)或任(ren)何問題(ti),請及時聯系我(wo)們,我(wo)們將(jiang)在第一時間刪除或更正(zheng)。
版權聲明>>
修改>>
申請刪除>>
網(wang)頁上相關信(xin)息的知識產權歸網(wang)站方所(suo)有(包括但不(bu)(bu)限于文字、圖片、圖表(biao)、著作權、商標權、為(wei)用戶(hu)提(ti)(ti)供的商業信(xin)息等),非經許可不(bu)(bu)得抄襲或使用。本站不(bu)(bu)生產產品、不(bu)(bu)提(ti)(ti)供產品銷售服(fu)務、不(bu)(bu)代(dai)理、不(bu)(bu)招商、不(bu)(bu)提(ti)(ti)供中介服(fu)務。本頁面內容不(bu)(bu)代(dai)表(biao)本站支持(chi)投資購買的觀點或意(yi)見,頁面信(xin)息僅(jin)供參考和(he)借鑒。
提交說明(ming):
快速提交發布>>
查看提交幫助>>
注冊登錄>>