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  • 專利名稱：一種高純硅料烘干裝置及烘干方法
  • 專利類型：發明
  • 申請號：CN201210315489.2
  • 公開(公告)號：CN102818439B
  • 申請日：20120830
  • 公開(公告)日：20150114
  • 申請人：西安隆基硅材料股份有限公司,無錫隆基硅材料有限公司,寧夏隆基硅材料有限公司,銀川隆基硅材料有限公司
  • 發明人：趙可武,李淑麗,宋涵,吳向龍,尹辰
  • 申請人地址：710100 陜西省西安市長安區航天中路388號
  • 申請人區域代碼：CN610116
  • 專利權人：西安隆基硅材料股份有限公司,無錫隆基硅材料有限公司,寧夏隆基硅材料有限公司,銀川隆基硅材料有限公司
  • 洛迦諾分類：無
  • IPC：F26B9/10,F26B25/08,F26B7/00
  • 優先權：無
  • 專利代理機構：西安弘理專利事務所 61214
  • 代理人：羅笛
  • 審查員：王爽
  • 國際申請：無
  • 國際公開(公告)：無
  • 進入國家日期：無
  • 分案申請：無

關鍵詞

高純硅,烘盤,連通,循環加熱裝置,抽真空裝置,烘干,側壁,齒軌,支架,導熱介質出口,導熱介質進口,真空泵抽真空,裝置及方法,烘干方法,烘干效果,烘干效率,烘干裝置,控制裝置,密封箱體,實時檢測,抽真空,帶密封,真空表,內腔,密封,驗證,連接
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