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專利名稱:
去除單晶硅堝底料中石英的裝置及其方法
專利類型:
發明
申請號:
CN201210154685.6
公開(公告)號:
CN102671885B
申請日:
20120518
公開(公告)日:
20140402
申請人:
寧夏隆基硅材料有限公司,銀川隆基硅材料有限公司,西安隆基硅材料股份有限公司,無錫隆基硅材料有限公司
發明人:
潘永娥,崔巍
申請人地址:
755100 寧夏回族自治區中衛市中寧縣新堡鎮團結南路
申請人區域代碼:
CN640521
專利權人:
寧夏隆基硅材料有限公司,銀川隆基硅材料有限公司,西安隆基硅材料股份有限公司,無錫隆基硅材料有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
B08B3/08,C30B15/00,C30B29/06
優先權:
無
專利代理機構:
西安弘理專利事務所 61214
代理人:
羅笛
審查員:
朱營琢
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關鍵詞
反應釜,保溫筒,蓋板,石英,單晶硅堝底料,加熱器,氫氟酸,溫控,顯示器,相關工作參數,恒溫水浴法,內外壁,堝底料,加注,內底,自來水
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