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專利名稱:
硅片水平清洗設備
專利類型:
實用新型
申請號:
CN201620910410.4
公開(公告)號:
CN205959961U
申請日:
20160819
公開(公告)日:
20170215
申請人:
西安隆基硅材料股份有限公司
發明人:
郭江濤,趙可武,鄧浩,李定武
申請人地址:
710100 陜西省西安市長安區航天中路388號
申請人區域代碼:
CN610116
專利權人:
西安隆基硅材料股份有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
H01L21/67,H01L31/18
優先權:
無
專利代理機構:
西安弘理專利事務所 61214
代理人:
燕肇琪
審查員:
無
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關鍵詞
硅片,超聲機構,傳輸機構,毛刷機構,噴淋機構,烘干機構,本實用新型,超聲清洗,清洗設備,噴淋,干燥處理,硅片表面,硅片清洗,化學試劑,機械物理,清洗效率,水平刷洗,上游,清洗液,超聲,能耗,自動化,消耗,輸出,引入
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