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著錄信息

專利名稱：晶圓清洗機
專利類型：實用新型
申請號：CN201420146111.9
公開(公告)號：CN203760441U
申請日：20140328
公開(公告)日：20140806
申請人：沈陽儀表科學研究院有限公司
發明人：馬巖,白雪峰,榮宇,郝鑫
申請人地址：110043 遼寧省沈陽市大東區北海街242號
申請人區域代碼：CN210104
專利權人：沈陽儀表科學研究院有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：H01L21/67
優先權：無
專利代理機構：沈陽科威專利代理有限責任公司 21101
代理人：楊濱
審查員：無
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞

真空軸,殼體,步進電機,伺服電機,擺桿,噴頭,吸盤,伺服系統控制,真空發生器,硅片清洗,技術要點,伺服系統,維護成本,清洗機,輸出端,輸出軸,晶圓,固定

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