著錄信息
- 專利名稱：氣致冷多晶硅鑄錠爐的閉式冷卻系統
- 專利類型：實用新型
- 申請號：CN201120277027.7
- 公開(公告)號：CN202272988U
- 申請日：20110801
- 公開(公告)日：20120613
- 申請人：浙江晶盛機電股份有限公司,上虞晶信機電科技有限公司
- 發明人：曹建偉,石剛,傅林堅,葉欣,邱敏秀
- 申請人地址：312300 浙江省紹興市上虞市經濟技術開發區通江西路218號
- 申請人區域代碼：CN330682
- 專利權人：浙江晶盛機電股份有限公司,上虞晶信機電科技有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：C30B28/06,C30B29/06
- 優先權：無
- 專利代理機構：杭州中成專利事務所有限公司 33212
- 代理人：金祺
- 審查員：無
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進入國家日期：無
- 分案申請：無
關鍵詞
熱交換,冷卻氣,多晶硅鑄錠,冷卻氣通道,出氣管路,進氣管路,致冷,坩堝,氣動力,坩堝底部溫度,閉式循環,長晶過程,輻射降溫,精確控制,均勻形核,冷卻方法,冷卻系統,氣體出口,氣體入口,下降速度,整體溫度,硅熔體,冷卻器,水冷式,支撐柱,泵組,閉式,底部,冷卻,連接,內部
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