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專利名稱：帶有抽真空系統的平板式PECVD工藝腔
專利類型：實用新型
申請號：CN201720040750.0
公開(公告)號：CN206477025U
申請日：20170113
公開(公告)日：20170908
申請人：浙江晶盛機電股份有限公司
發明人：傅林堅,石剛,洪昀,吳威,高振波,王偉星,祝廣輝
申請人地址：312300 浙江省紹興市上虞區通江西路218號
申請人區域代碼：CN330604
專利權人：浙江晶盛機電股份有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：C23C16/44
優先權：無
專利代理機構：杭州中成專利事務所有限公司 33212
代理人：周世駿
審查員：無
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞

真空泵,豎管,本實用新型,四通接頭,真空管道,抽氣口,工藝腔,過濾網,橫管,三通,晶硅太陽能電池,抽真空系統,底部邊緣,顆粒粉塵,生產設備,生產效率,使用壽命,水平接口,向上接口,向下接口,抽真空,可拆卸,平板式,相接處,真空室,中空狀,堵頭,鍍膜,裝設,攔截

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