著錄信息
- 專利名稱：金屬有機化合物源的供應系統
- 專利類型：實用新型
- 申請號：CN201520610663.5
- 公開(公告)號：CN205115595U
- 申請日：20150813
- 公開(公告)日：20160330
- 申請人：圓融光電科技股份有限公司
- 發明人：焦建軍,黃小輝,陳向東,康建,梁旭東
- 申請人地址：243000 安徽省馬鞍山市經濟技術開發區寶慶路399號1棟
- 申請人區域代碼：CN340503
- 專利權人：圓融光電科技股份有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：C23C16/455
- 優先權：無
- 專利代理機構：北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
- 代理人：張蓮蓮;黃健
- 審查員：無
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進入國家日期：無
- 分案申請：無
關鍵詞
金屬有機化合物,供應系統,實用,傳輸管道,化合物,一種,生長,連接
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