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專利名稱：一種全解耦雙軸電容式微機械加速度計
專利類型：發明
申請號：CN200910242283.X
公開(公告)號：CN101876665B
申請日：20091211
公開(公告)日：20120425
申請人：紫光股份有限公司
發明人：高宏,王慶
申請人地址：北京市海淀區清華大學紫光大樓605室
申請人區域代碼：CN110108
專利權人：紫光股份有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：G01P15/125,B81B7/02
優先權：無
專利代理機構：北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
代理人：羅文群
審查員：臧自欣
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞

加速度計,電極,固定,敏感質量,折疊梁,電容,隔離,立柱,雙軸,方框,慣性傳感器,微機電系統,測量誤差,橫向隔離,交叉耦合,縱向固定,高精度,加速度

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