一、振鏡1和振鏡2是什么意思

1、振鏡1（或者叫振鏡X）

振(zhen)鏡1的(de)(de)寬度(du)是由光(guang)束(shu)的(de)(de)直(zhi)徑所決(jue)定的(de)(de)。完整(zheng)光(guang)束(shu)直(zhi)徑在這里是比較容易(yi)討論的(de)(de)，完整(zheng)的(de)(de)光(guang)束(shu)直(zhi)徑在一(yi)定程度(du)上是任意的(de)(de)。

例如，一(yi)個系統設計師可能(neng)將DF界定(ding)(ding)為(wei)激光(guang)射在(zai)有機玻璃(li)留下的燒焦的光(guang)束直徑。另(ling)外(wai)DF可能(neng)被(bei)定(ding)(ding)為(wei)一(yi)個能(neng)量為(wei)99%的標準能(neng)量點，或者是限定(ding)(ding)在(zai)某個范圍內，如1.4D–1.6D。

考慮到(dao)鏡片的誤差，振(zhen)(zhen)鏡的寬W1要略微大于所選擇的DF的值。鏡片上的最(zui)大入射角(jiao)imax決定(ding)了振(zhen)(zhen)鏡的長度。讓a=(90°-imax)。當振(zhen)(zhen)鏡的長度是L1，這里L1=W1/sina。

2、振鏡2（或者叫振鏡y）

振(zhen)(zhen)鏡(jing)(jing)2的(de)(de)(de)寬度應該等于(yu)振(zhen)(zhen)鏡(jing)(jing)1的(de)(de)(de)長度。振(zhen)(zhen)鏡(jing)(jing)2的(de)(de)(de)長度就是光(guang)(guang)(guang)(guang)束打在第二個(ge)振(zhen)(zhen)鏡(jing)(jing)上(shang)時同S1的(de)(de)(de)距離，和最大入射(she)角q。這(zhe)些鏡(jing)(jing)片被制作并被鍍上(shang)的(de)(de)(de)特定(ding)的(de)(de)(de)膜層，從而決定(ding)用于(yu)CO2激光(guang)(guang)(guang)(guang)還是YAG激光(guang)(guang)(guang)(guang)。他們有很高的(de)(de)(de)激光(guang)(guang)(guang)(guang)損傷值，1000w/mm的(de)(de)(de)情況下光(guang)(guang)(guang)(guang)束直徑是1/e2（D）。

我們(men)將鏡(jing)(jing)頭描(miao)述為F-theta鏡(jing)(jing)頭，或(huo)者‘Fq’。設計的(de)(de)方法(fa)是要(yao)產生一個(ge)離軸(zhou)點的(de)(de)位置成正(zheng)比(bi)的(de)(de)掃(sao)描(miao)角(jiao)度(du)。依(yi)次，就是要(yao)產生成正(zheng)比(bi)的(de)(de)電壓(ya)，已適(shi)用于掃(sao)描(miao)器(qi)馬達。由于失真是來自于兩個(ge)振鏡(jing)(jing)，所(suo)以我們(men)兩個(ge)軸(zhou)上(shang)的(de)(de)掃(sao)描(miao)器(qi)要(yao)有能夠(gou)轉動F-theta的(de)(de)特(te)征。

二、振鏡1和振鏡2怎么調比例

為了使(shi)軟(ruan)件坐(zuo)標與實際運行(xing)距離場地(di)對應(ying)及輸出軌跡不失真(zhen)，則需要需要實時的對每一個(ge)數據點進行(xing)校正(zheng)，通常采用查(cha)找表分段(duan)線性插值的方(fang)法進行(xing)位(wei)置校正(zheng)，校正(zheng)點越多實際輸出位(wei)置越精準。

正(zheng)(zheng)(zheng)運動SCAN控制器(qi)提供了(le)BOX校(xiao)正(zheng)(zheng)(zheng)、多點(dian)校(xiao)正(zheng)(zheng)(zheng)等(deng)方法，不(bu)管是系數(shu)校(xiao)正(zheng)(zheng)(zheng)還是多點(dian)校(xiao)正(zheng)(zheng)(zheng)，校(xiao)正(zheng)(zheng)(zheng)點(dian)參數(shu)都是寫到控制器(qi)內(nei)部(bu)系統(tong)數(shu)組TABLE寄(ji)存器(qi)的。因此(ci)在程序中有其(qi)他功能應用到TABLE寄(ji)存器(qi)時需要注意地(di)址的合理分配(pei)。

1、Box系數校正

系(xi)數校(xiao)正(zheng)(zheng)指的是根據振鏡(jing)輸出圖形(xing)枕/桶(tong)形(xing)失真、平行(xing)四邊(bian)形(xing)失真、梯(ti)形(xing)失真、比例(li)縮放(fang)幾種情況進行(xing)系(xi)數調整(zheng)校(xiao)正(zheng)(zheng)。

通(tong)過(guo)調用ZScan_CorrectFactor進行(xing)系數(shu)(shu)校(xiao)正(zheng)。先(xian)控制振鏡繪制出一個正(zheng)方形校(xiao)正(zheng)圖(tu)形，根(gen)據校(xiao)正(zheng)圖(tu)形的(de)失真(zhen)按下圖(tu)情況調整對應的(de)系數(shu)(shu)參數(shu)(shu)，根(gen)據標刻長度與測量長度調整縮放系數(shu)(shu)，直到實際(ji)標刻的(de)尺寸與設置一致時認為校(xiao)正(zheng)成功，校(xiao)正(zheng)系以(yi)是填寫的(de)變化(hua)量，通(tong)常以(yi)0值為參考基(ji)準(zhun)變化(hua)。

2、9點校正

9點校(xiao)正指(zhi)的是根據(ju)在工作范圍內標刻(ke)3*3的表格，根據(ju)每個點的理論位(wei)置與實際位(wei)置來進(jin)行(xing)振鏡校(xiao)正。

先(xian)控制振(zhen)鏡預(yu)繪(hui)制出一個3*3校(xiao)正(zheng)表格圖形，按下圖所示P1-P9的(de)順(shun)序填入X坐標(biao)(biao)與Y坐標(biao)(biao)實(shi)際測量(liang)值(zhi)，填入P1點(dian)的(de)理論標(biao)(biao)刻(ke)與P9點(dian)的(de)理論坐標(biao)(biao)，通過調用ZScan_Correct9進行9點(dian)校(xiao)正(zheng)。需(xu)重新標(biao)(biao)刻(ke)測試，直到實(shi)際標(biao)(biao)刻(ke)與理論值(zhi)達到預(yu)期精度范圍。

3、25點校正

25點校(xiao)正(zheng)(zheng)指的(de)是根據在工作(zuo)范圍內標刻(ke)5*5的(de)表格，校(xiao)正(zheng)(zheng)過程(cheng)與9點校(xiao)正(zheng)(zheng)相(xiang)同，通過調(diao)用(yong)ZScan_Correct25進行25點校(xiao)正(zheng)(zheng)。校(xiao)正(zheng)(zheng)點數(shu)越(yue)(yue)多(duo)校(xiao)正(zheng)(zheng)精度也越(yue)(yue)高(gao)。