一、半導體設備檢修工具有哪些

半(ban)導(dao)體設備(bei)是(shi)一種高(gao)精(jing)度的(de)機器(qi)，在現代化工業(ye)發(fa)展(zhan)過程中(zhong)，流水線(xian)的(de)生產(chan)操作對(dui)于半(ban)導(dao)體設備(bei)要求(qiu)較(jiao)高(gao)，一旦出(chu)現故障(zhang)(zhang)會直接(jie)影響整個(ge)企(qi)業(ye)的(de)生產(chan)進程，因此需要定期進行(xing)維修(xiu)保養(yang)，防止出(chu)現故障(zhang)(zhang)發(fa)生導(dao)致(zhi)停產(chan)，對(dui)企(qi)業(ye)造成(cheng)較(jiao)為(wei)嚴重(zhong)的(de)經濟損失，半(ban)導(dao)體設備(bei)檢(jian)修(xiu)可以用到(dao)哪些(xie)工具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受到(dao)振動和沖(chong)擊，同時保(bao)護地(di)面不受損傷(shang)，可(ke)以實現(xian)精確(que)的位置控制，保(bao)質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪式千斤(jin)頂(ding)可(ke)以實現(xian)前(qian)后100mm水平(ping)移動，頂(ding)升平(ping)穩無晃動，可(ke)以實現(xian)高(gao)精度的升降(jiang)和定位(wei)控制(zhi)，可(ke)定制(zhi)無塵型(xing)。

3、楔形千斤頂

楔形千(qian)斤頂只需5mm的(de)縫隙，楔頭即(ji)可插入起升至34mm的(de)高度，手柄(bing)可以360度旋轉，能用于狹(xia)窄空間。

4、滑動紙

滑動紙人(ren)力即(ji)可推動1至9噸的重物，調整(zheng)范(fan)圍為1cm-5cm，半(ban)導體設(she)備檢修結(jie)束后(hou)抬起約1mm的高度即(ji)可拉出滑動紙，操作簡單(dan)，輕松便攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體設備出現故障后(hou)，先(xian)做好總體分(fen)析，然后(hou)仔細檢查故障問題。

1、首先(xian)，檢(jian)查(cha)半(ban)(ban)導體(ti)設備周(zhou)圍的冷凍機(ji)、真(zhen)空壓縮(suo)機(ji)、變壓器等是否運行正(zheng)常(chang)，如果這(zhe)些設備都(dou)正(zheng)常(chang)，再排查(cha)和檢(jian)查(cha)半(ban)(ban)導體(ti)設備主體(ti)，檢(jian)修人員貿然拆解半(ban)(ban)導體(ti)設備會(hui)損壞元器件，重復的返(fan)工會(hui)浪費大量物力、人力和財力。

2、其次，全面了(le)解半導(dao)體(ti)設(she)備(bei)情況，確定(ding)半導(dao)體(ti)設(she)備(bei)故障范圍，有針對(dui)性地(di)采用檢修方法(fa)，半導(dao)體(ti)設(she)備(bei)包(bao)括附加部(bu)(bu)分(fen)(fen)、傳送部(bu)(bu)分(fen)(fen)、動力部(bu)(bu)分(fen)(fen)、控制部(bu)(bu)分(fen)(fen)等，控制部(bu)(bu)分(fen)(fen)是半導(dao)體(ti)設(she)備(bei)中最精密(mi)的(de)部(bu)(bu)分(fen)(fen)，應重點檢查這個部(bu)(bu)分(fen)(fen)，逐一排(pai)查電路板模塊，反復進行(xing)對(dui)比分(fen)(fen)析，仔細檢查半導(dao)體(ti)設(she)備(bei)故障位置。

3、最后(hou)，仔細(xi)清理(li)半(ban)導(dao)體(ti)設備灰塵(chen)，檢查各個板(ban)件的焊接和(he)線路連接，很多半(ban)導(dao)體(ti)設備在長時間使用過(guo)程(cheng)中接口和(he)插頭容易堆積(ji)大(da)量灰塵(chen)導(dao)致(zhi)漏電事(shi)故，線路板(ban)發生氧(yang)化(hua)形成虛焊，對(dui)于這些(xie)問題(ti)，檢修(xiu)人(ren)員(yuan)應積(ji)極進(jin)行檢修(xiu)維護。