1981年，考入(ru)合肥工業(ye)大學，先后(hou)獲(huo)得學士、碩(shuo)士學位。
1998年，獲得(de)北(bei)京航(hang)空航(hang)天大學博士學位(wei)。
2000年(nian)，被聘為中國科學(xue)院微(wei)電子研(yan)究(jiu)所(suo)研(yan)究(jiu)員(yuan)和(he)納米(mi)加工與(yu)新(xin)器件集成技(ji)術(shu)研(yan)究(jiu)室主任(ren)。
2018年(nian)，出任(ren)中國(guo)科學(xue)技術(shu)大(da)學(xue)國(guo)家示范(fan)性微電子學(xue)院院長。
2022年08月11日，擔任中芯(xin)國際董事(shi)會審計委員會成員。
2015年(nian)，當(dang)選中(zhong)國科學院院士。
2017年03月(yue)08日，榮獲(huo)中國科學院第(di)五(wu)屆“十大杰(jie)出婦(fu)女”榮譽稱號。
2018年(nian)，當選為發展中國家(jia)科學院(yuan)院(yuan)士。
2007年，項目《中高頻聲表面波關鍵材料及技術(shu)研究》榮獲“國(guo)家技術(shu)發明二等獎”。
2009年，項(xiang)目《移動通訊(xun)用濾波器關鍵技術及產業化》榮獲“國家科技進步二等(deng)獎(jiang)”。
2010年，項目《微納(na)結構‘自上而下’制備核心技術與集成應用》榮獲(huo)“北京市(shi)科學技術一等獎”。
2013年，項(xiang)目《高(gao)精度微(wei)納結(jie)構掩模制造(zao)核(he)心技(ji)術(shu)》榮(rong)獲“國家技(ji)術(shu)發(fa)明二等獎”。
2014年(nian)，項目《阻(zu)變(bian)存儲(chu)器及集成的基礎研究》榮獲“北京市(shi)科學技術二等(deng)獎(jiang)”。
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