1961年,畢(bi)業于(yu)清華大學(xue)無線(xian)電電子(zi)工(gong)程(cheng)系,隨后進入中(zhong)國科學(xue)院半(ban)導體研究所工(gong)作。
1986年(nian),調(diao)入中(zhong)國科學院微電子(zi)中(zhong)心(現中(zhong)國科學院微電子(zi)研(yan)究所)工作。
1986年 - 1989年,擔任(ren)(ren)中(zhong)國科學(xue)院微電子中(zhong)心(xin)第一屆副主任(ren)(ren)。
1991年(nian) - 1997年(nian),擔任中國科學院微電子中心(xin)第(di)二屆、第(di)三屆主任。
1991年,當選為中國科學(xue)院(yuan)學(xue)部(bu)委(wei)員(院(yuan)士)。
1992年,被國家科學(xue)技術(shu)委員(yuan)會聘(pin)為(wei)“深亞微米結構器件(jian)和介(jie)觀物(wu)理”項目首席科學(xue)家。
1991年(nian),當(dang)選為中國科學院(yuan)學部委員(院(yuan)士)。
1992年,榮獲全(quan)國“三八(ba)”紅旗手(shou)稱號。
1992年,榮獲“九五”國(guo)家重(zhong)大科技攻關(guan)先(xian)進個人稱號。
2004年,榮獲“何梁何利基金科學(xue)與技(ji)術進步獎”。
1998年,項(xiang)目《全套0.8微(wei)米CMOS工(gong)藝技(ji)術(shu)》榮獲“中國(guo)科學(xue)院科技(ji)進步一等(deng)獎”。
1999年,項(xiang)目《全套0.8微米(mi)CMOS工(gong)藝技術》榮(rong)獲(huo)“國家科(ke)技進步二等(deng)獎”。
2003年,項目《先(xian)進的深亞微(wei)米工藝技(ji)術(shu)及新型器件(jian)》榮(rong)獲“北京市科(ke)學技(ji)術(shu)一等獎”。