沈(shen)陽芯源微電子(zi)設備股份(fen)有限公司成立于2002年,是由中科院沈(shen)陽自動化研(yan)究所發起創建的國家(jia)高新技術企業,專業從(cong)事半導體(ti)(ti)生(sheng)產設備的研(yan)發、生(sheng)產、銷售與服(fu)務,致力于為客戶(hu)提供半導體(ti)(ti)裝備與工藝整體(ti)(ti)解決方案。
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