沈(shen)陽芯源微電子(zi)設備股(gu)份(fen)有限公司成立于(yu)2002年,是由中科院沈(shen)陽自動化(hua)研究所發起創建(jian)的國家高新技(ji)術(shu)企業(ye),專業(ye)從事(shi)半(ban)導體(ti)(ti)生產設備的研發、生產、銷售與服務,致力于(yu)為客(ke)戶提供半(ban)導體(ti)(ti)裝備與工藝(yi)整(zheng)體(ti)(ti)解決方案。
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2019年(nian)12月16日,芯源(yuan)公司在上交所科創(chuang)板上市,借(jie)力資本市場,芯源(yuan)將加速提(ti)升(sheng)企(qi)業的(de)創(chuang)新能力和產品成套能力,以先進(jin)可靠的(de)產品和優(you)質服(fu)務贏(ying)得客戶信賴,為客戶提(ti)供先進(jin)的(de)半導體設備,助推產業技術進(jin)步。