成立于2002年,致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發/設計/制造/銷售/技術服務,主要生產光刻機、激光封裝設備、光配向設備等,廣泛用于集成電路、先進封裝、FPD面板等制造領域
上海微(wei)電子裝備(集團)股份(fen)有限公司(簡稱SMEE)主要致力于半導體裝備(bei)、泛半導體裝備(bei)、高端(duan)智能裝備(bei)的(de)開發、設計、制(zhi)造、銷售(shou)及技術服務。公司(si)設備(bei)廣泛應用于集成電路前(qian)道(dao)、先進(jin)封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制(zhi)造領域。
SMEE致(zhi)力于以極致(zhi)服務,造高端(duan)產(chan)品(pin),創卓越價(jia)值(zhi),全天候(hou)、多(duo)方位、全身(shen)心地為(wei)顧客提(ti)供優質(zhi)產(chan)品(pin)和技術服務。
SMEE已(yi)通過ISO27001信息安全、ISO9001質量管理(li)和ISO14001環(huan)境(jing)管理(li)等(deng)體系的國際認證,力求為客(ke)戶提供持續、穩定、高(gao)品質的產品和服務,并履行一個優秀的高(gao)科技(ji)企業(ye)的社會責(ze)任。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL201310747393.8 | 一種調焦調平裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201410857409.5 | 一種硅片邊緣保護裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201110241791.3 | 一種步進光刻設備及光刻曝光方法 | 第二十一屆中國專利優秀獎(2019年) |
標準號 | 標準名稱 | 發布日期 | 實施日期 | 標準詳情 |
GB/T 40577-2021 | 集成電路制造設備術語 | 2022-10-11 | 2023-05-01 |