成立于2002年,致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發/設計/制造/銷售/技術服務,主要生產光刻機、激光封裝設備、光配向設備等,廣泛用于集成電路、先進封裝、FPD面板等制造領域
上海微電子裝備(bei)(集(ji)團)股份有限公司(簡(jian)稱SMEE)主要致力于(yu)半導(dao)(dao)體(ti)裝(zhuang)備(bei)(bei)、泛半導(dao)(dao)體(ti)裝(zhuang)備(bei)(bei)、高端(duan)智能裝(zhuang)備(bei)(bei)的開發、設(she)計、制造、銷售(shou)及技術服(fu)務。公司設(she)備(bei)(bei)廣泛應(ying)用于(yu)集成電路前(qian)道(dao)、先進(jin)封裝(zhuang)、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領域。
SMEE致力于以(yi)極致服務(wu),造高端產品,創(chuang)卓(zhuo)越(yue)價值,全天候、多方位、全身心地為顧客(ke)提供優質產品和技(ji)術服務(wu)。
SMEE已通過(guo)ISO27001信息安全、ISO9001質(zhi)量管(guan)理和ISO14001環境管(guan)理等體系的國(guo)際認證,力求(qiu)為客戶提供持續、穩(wen)定(ding)、高品質(zhi)的產品和服務(wu),并履行一個優秀的高科技企業的社會(hui)責任。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL201310747393.8 | 一種調焦調平裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201410857409.5 | 一種硅片邊緣保護裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201110241791.3 | 一種步進光刻設備及光刻曝光方法 | 第二十一屆中國專利優秀獎(2019年) |
標準號 | 標準名稱 | 發布日期 | 實施日期 | 標準詳情 |
GB/T 40577-2021 | 集成電路制造設備術語 | 2022-10-11 | 2023-05-01 |