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中國科(ke)學(xue)院(yuan)沈(shen)陽(yang)科(ke)學(xue)儀(yi)器(qi)股份有(you)限公(gong)司(si)（以下簡稱 “公(gong)司(si)”）創建(jian)于1958年，前身為中國科(ke)學(xue)院(yuan)沈(shen)陽(yang)科(ke)學(xue)儀(yi)器(qi)研制中心(xin)(xin)。園區位于遼寧省沈(shen)陽(yang)市渾(hun)南區，占地面(mian)積110畝，建(jian)筑面(mian)積3.5萬(wan)平方米(mi)。多年來，公(gong)司(si)專(zhuan)注于高真(zhen)(zhen)空、超高真(zhen)(zhen)空、超潔凈真(zhen)(zhen)空技術的研究(jiu)和發展，是我(wo)國集成電路裝(zhuang)備和真(zhen)(zhen)空儀(yi)器(qi)設備的研制、生產基地，先后組建(jian)“國家(jia)分子(zi)束(shu)外延(yan)技術試驗基地”、“國家(jia)真(zhen)(zhen)空儀(yi)器(qi)裝(zhuang)置(zhi)工(gong)程技術研究(jiu)中心(xin)(xin)”和“真(zhen)(zhen)空技術裝(zhuang)備國家(jia)工(gong)程實驗室”等科(ke)研平臺。

公(gong)(gong)司主(zhu)(zhu)要從事干式真(zhen)空泵(beng)、真(zhen)空儀器(qi)設(she)備(bei)(bei)的(de)研發(fa)(fa)、生產(chan)和(he)銷售，并提供相關(guan)技(ji)(ji)術(shu)服務。公(gong)(gong)司產(chan)品主(zhu)(zhu)要包括(kuo)系(xi)列(lie)羅(luo)茨(ci)干泵(beng)、系(xi)列(lie)渦旋干泵(beng)、大(da)科(ke)學裝置、真(zhen)空薄(bo)膜儀器(qi)設(she)備(bei)(bei)和(he)新(xin)(xin)材料(liao)制備(bei)(bei)設(she)備(bei)(bei)等。公(gong)(gong)司承擔了(le)國家(jia)“極大(da)規模(mo)集(ji)成(cheng)電路制造(zao)(zao)裝備(bei)(bei)及(ji)成(cheng)套工藝”（“02專(zhuan)項”）、“高檔數(shu)控機床與基(ji)礎制造(zao)(zao)裝備(bei)(bei)”（“04”專(zhuan)項）、“國家(jia)重(zhong)點(dian)研發(fa)(fa)計劃”等科(ke)技(ji)(ji)專(zhuan)項，并通過自主(zhu)(zhu)研發(fa)(fa)創新(xin)(xin)實現(xian)了(le)國產(chan)干式真(zhen)空泵(beng)在集(ji)成(cheng)電路領域(yu)的(de)批量應用，打破了(le)歐美及(ji)日本企(qi)業(ye)對同類產(chan)品的(de)長期壟(long)斷(duan)，實現(xian)了(le)關(guan)鍵裝備(bei)(bei)的(de)進(jin)口替代(dai)。先后獲(huo)得國家(jia)科(ke)技(ji)(ji)進(jin)步獎(jiang)六項，中國科(ke)學院及(ji)省(sheng)(sheng)部級科(ke)技(ji)(ji)進(jin)步獎(jiang)二(er)十項，擁有專(zhuan)利七十一項，被(bei)認定為國家(jia)高新(xin)(xin)技(ji)(ji)術(shu)企(qi)業(ye)、國家(jia)知識產(chan)權優勢企(qi)業(ye)、遼(liao)寧省(sheng)(sheng)技(ji)(ji)術(shu)創新(xin)(xin)示范(fan)企(qi)業(ye)、遼(liao)寧省(sheng)(sheng)創新(xin)(xin)型中小企(qi)業(ye)、遼(liao)寧省(sheng)(sheng)省(sheng)(sheng)級企(qi)業(ye)技(ji)(ji)術(shu)中心、沈陽市科(ke)技(ji)(ji)領航(hang)型企(qi)業(ye)、沈陽市科(ke)技(ji)(ji)小巨人企(qi)業(ye)等。

公(gong)(gong)(gong)(gong)司(si)設(she)立有2個全資子(zi)公(gong)(gong)(gong)(gong)司(si)——上海(hai)上凱儀(yi)真空技術(shu)有限公(gong)(gong)(gong)(gong)司(si)、中(zhong)(zhong)科(ke)儀(yi)（南通）半導體設(she)備(bei)有限責任公(gong)(gong)(gong)(gong)司(si)；1個分公(gong)(gong)(gong)(gong)司(si)——中(zhong)(zhong)國科(ke)學院沈陽科(ke)學儀(yi)器股份有限公(gong)(gong)(gong)(gong)司(si)上海(hai)分公(gong)(gong)(gong)(gong)司(si)。