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  • 專利名稱:一種熱絕緣微橋結構及其加工方法
  • 專利類型:發明
  • 申請號:CN200710067914.X
  • 公開(公告)號:CN101249935B
  • 申請日:20070331
  • 公開(公告)日:20110622
  • 申請人:浙江大立科技股份有限公司
  • 發明人:姜利軍,羅雯雯
  • 申請人地址:310053 浙江省杭州市濱康路639號
  • 申請人區域代碼:CN330108
  • 專利權人:浙江大立科技股份有限公司
  • 洛迦諾分類:
  • IPC:B81B3/00,B81C1/00
  • 優先權:
  • 專利代理機構:浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100
  • 代理人:徐關壽
  • 審查員:姚宇鹯
  • 國際申請:
  • 國際公開(公告):
  • 進入國家日期:
  • 分案申請:

關鍵詞

微橋結構,微橋,皺褶結構,懸臂梁,凹槽結構,犧牲材料,犧牲層,襯底,沉積,微機電系統技術,紅外線輻射源,微細加工方法,紅外探測器,氣體探測器,微機電系統,絕熱,襯底表面,加工方法,加熱平臺,填充因子,材料層,制冷,生長
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