著錄信息
- 專利名稱:一種熱絕緣微橋結構及其加工方法
- 專利類型:發明
- 申請號:CN200710067914.X
- 公開(公告)號:CN101249935B
- 申請日:20070331
- 公開(公告)日:20110622
- 申請人:浙江大立科技股份有限公司
- 發明人:姜利軍,羅雯雯
- 申請人地址:310053 浙江省杭州市濱康路639號
- 申請人區域代碼:CN330108
- 專利權人:浙江大立科技股份有限公司
- 洛迦諾分類:無
- IPC:B81B3/00,B81C1/00
- 優先權:無
- 專利代理機構:浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100
- 代理人:徐關壽
- 審查員:姚宇鹯
- 國際申請:無
- 國際公開(公告):無
- 進入國家日期:無
- 分案申請:無
關鍵詞
微橋結構,微橋,皺褶結構,懸臂梁,凹槽結構,犧牲材料,犧牲層,襯底,沉積,微機電系統技術,紅外線輻射源,微細加工方法,紅外探測器,氣體探測器,微機電系統,絕熱,襯底表面,加工方法,加熱平臺,填充因子,材料層,制冷,生長
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