一、掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪幾種

掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質間的相互作用，來激發各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。那么你知道掃描電子顯微鏡主要成像(xiang)信號有哪幾種(zhong)嗎？

1、對于形貌成像：主要信號是二次電子，背散射電子也有使用(yong)。吸(xi)收(shou)電流(liu)成像，是比較特殊的應用(yong)，往(wang)往(wang)用(yong)于專門(men)材料檢測。

2、對于成分分布成像：背散(san)射(she)電子，陰極熒光，元素特(te)征X射(she)線等。

二、掃描電鏡的主要參數有哪些

掃描電鏡主(zhu)要參數：分辨(bian)率、放大倍數、景深。

1、分辨率

分(fen)(fen)(fen)辨率是掃描(miao)電鏡最(zui)主要(yao)的(de)(de)(de)性能指(zhi)標，對成像(xiang)而言，它是指(zhi)能分(fen)(fen)(fen)辨兩(liang)點之間的(de)(de)(de)最(zui)小距(ju)離(li)；對微區(qu)成分(fen)(fen)(fen)分(fen)(fen)(fen)析而言，它是指(zhi)能分(fen)(fen)(fen)析的(de)(de)(de)最(zui)小區(qu)域(yu)。掃描(miao)電鏡的(de)(de)(de)分(fen)(fen)(fen)辨率通過測(ce)定圖(tu)像(xiang)中兩(liang)個顆粒(或區(qu)域(yu))間的(de)(de)(de)最(zui)小距(ju)離(li)來確(que)定的(de)(de)(de)，測(ce)定的(de)(de)(de)方法是在已知放大倍(bei)數(shu)的(de)(de)(de)條(tiao)件下，把在圖(tu)像(xiang)上測(ce)到的(de)(de)(de)最(zui)小間距(ju)除以放大倍(bei)數(shu)所(suo)得數(shu)值(zhi)就是分(fen)(fen)(fen)辨率。

2、放大倍數

當入射(she)電(dian)子束做光柵掃(sao)(sao)描(miao)時，若電(dian)子束在樣品表(biao)(biao)面(mian)掃(sao)(sao)描(miao)的幅度為As，在顯光屏上陰極射(she)線(xian)同步(bu)掃(sao)(sao)描(miao)的幅度為Ac，則放大倍數可表(biao)(biao)示為M=Ac/As。

由(you)于熒光屏的(de)尺寸(cun)是不變(bian)的(de)，因(yin)此，放大倍數的(de)變(bian)化只要通過(guo)改變(bian)電子束在樣品表面的(de)掃描(miao)幅度As來實現(xian)。

目前商品化(hua)的掃(sao)面電(dian)鏡的放大倍(bei)(bei)數(shu)可以從20倍(bei)(bei)到(dao)20萬倍(bei)(bei)之(zhi)間(jian)連續調(diao)節。

3、景深

景深是指透鏡對高低不平的樣品各部(bu)位(wei)能同時聚焦成(cheng)像的能力范圍，這個范圍用一段距離表示(shi)。

如果景深為Ds，只要樣品表面(mian)高低范圍值小于Ds，則(ze)在熒(ying)光屏上(shang)就能清(qing)晰地反(fan)映出樣品的(de)表面(mian)形貌(mao)。正是由(you)于掃描電鏡景深大，特別適用于粗糙表面(mian)和斷口的(de)分析(xi)觀察(cha)；圖像富有立(li)體感、真(zhen)實(shi)感、易(yi)于識別和解釋。