一、低溫真空泵是什么真空泵

低(di)(di)溫(wen)真空(kong)泵是一(yi)種利(li)用(yong)20K以(yi)下的(de)低(di)(di)溫(wen)表面凝聚吸附氣體(ti)的(de)真空(kong)泵，又(you)叫冷泵、冷凝泵，一(yi)般(ban)是以(yi)低(di)(di)溫(wen)液(ye)體(ti)（液(ye)氮或液(ye)氦）或低(di)(di)溫(wen)制冷機為冷源。

二、低溫真空泵的原理與結構

低(di)(di)溫(wen)真空泵主要由泵殼、障(zhang)板(ban)和冷屏、冷頭、二級冷板(ban)等(deng)組成，其作用(yong)原(yuan)理是：依(yi)靠冷源提供的(de)冷量(liang)使表面氣體被(bei)冷到(dao)低(di)(di)溫(wen)冷凝時壓(ya)力下降(jiang)，不冷凝氣體在(zai)低(di)(di)溫(wen)下被(bei)固體吸附劑吸附，從而達到(dao)排氣的(de)效果，獲得潔凈真空，低(di)(di)溫(wen)抽(chou)氣的(de)主要作用(yong)是低(di)(di)溫(wen)冷凝、低(di)(di)溫(wen)吸附和低(di)(di)溫(wen)捕(bu)集。

該圖片由注冊用戶"荊湖酒徒"提供，版權聲明反饋

三、低溫真空泵的優點

1、高極限真空度

標準的低溫真空泵，其極限真空度可達10^-7Pa，必要時，在不加其它輔助泵的情況下也可以做到10^-9Pa，而理論上，甚至于達到10^-11Pa以(yi)上極高真空。

2、大抽速

低溫真空泵的(de)抽(chou)速(su)較快，尤其對(dui)水具有超高(gao)的(de)抽(chou)速(su)，其遠高(gao)于其它(ta)真空泵，低溫泵的(de)高(gao)抽(chou)速(su)使得建立(li)真空的(de)速(su)度(du)比其他真空泵快，可以(yi)大(da)大(da)提高(gao)產品產出量。

3、潔凈

低(di)溫(wen)泵是真(zhen)(zhen)正的(de)潔(jie)凈無(wu)油、抽速高(gao)的(de)高(gao)真(zhen)(zhen)空泵，它(ta)是利(li)用低(di)溫(wen)冷板來冷凝、吸附氣體而獲得和保持真(zhen)(zhen)空，在真(zhen)(zhen)空區域任何沒有運動(dong)部件，沒有油，所有清潔(jie)無(wu)污(wu)染。

4、運行成本低

低(di)溫真空泵(beng)可大(da)大(da)減少電能(neng)消耗，尤其是大(da)口徑泵(beng)。就(jiu)抽(chou)速而言，低(di)溫泵(beng)僅需1/3的能(neng)耗就(jiu)可以達到與(yu)擴散泵(beng)同等(deng)的效果。

5、安全可靠

低溫(wen)真空(kong)(kong)泵的真空(kong)(kong)腔(qiang)內(nei)無運動部件，來自(zi)外界的干擾或來自(zi)真空(kong)(kong)系統的微粒(li)不影響工(gong)作；同時，由于低溫(wen)泵回溫(wen)具有一定“慣性”，可(ke)在突然(ran)停電(dian)的情況下，有效地保護真空(kong)(kong)腔(qiang)體內(nei)真空(kong)(kong)，不至于被(bei)鍍工(gong)件受到影響。

6、使用方便

低溫(wen)泵(beng)對安裝(zhuang)方位沒(mei)要求，可以泵(beng)口超(chao)上、泵(beng)口朝下、水平(ping)位置安裝(zhuang)或(huo)以腔(qiang)體需(xu)要的任何角(jiao)度安裝(zhuang)。

7、使用壽命長

低(di)溫(wen)真空(kong)泵運動部件(jian)少(shao)且低(di)速運行，通(tong)過日常的(de)保養維護(hu)，低(di)溫(wen)泵的(de)正常的(de)使用壽命可達5~6萬(wan)小(xiao)時，有的(de)甚至超過8萬(wan)小(xiao)時。

四、低溫真空泵的缺點

1、需要降溫時間(jian)（準(zhun)備時間(jian)）。

2、需要再生。

3、購置成本(ben)高。

五、低溫真空泵應用領域有哪些

低(di)溫泵(beng)適合用(yong)于需(xu)要高真空度的領域，尤其適合應用(yong)于要求潔凈無(wu)油或快速抽氣(qi)的場合，例(li)如(ru)半導體與集成(cheng)電(dian)路前工序、光學鍍(du)膜(mo)、太陽能電(dian)池板、光電(dian)子(zi)器件(jian)和真空電(dian)子(zi)器件(jian)制造、平板顯示器件(jian)鍍(du)膜(mo)等(deng)領域。