一、光學3d輪廓測量儀是什么

光學(xue)3d輪廓(kuo)測量(liang)(liang)儀(yi)(yi)也叫白光干涉儀(yi)(yi)，是(shi)目前三維(wei)形貌測量(liang)(liang)領域高精(jing)度(du)的3D三維(wei)測量(liang)(liang)儀(yi)(yi)器之一。在(zai)同(tong)等放大倍率(lv)下，測量(liang)(liang)精(jing)度(du)和(he)重復性(xing)(xing)都(dou)高于共聚(ju)(ju)焦顯(xian)(xian)微鏡和(he)聚(ju)(ju)焦成像顯(xian)(xian)微鏡。光學(xue)3d輪廓(kuo)測量(liang)(liang)儀(yi)(yi)是(shi)以白光干涉測量(liang)(liang)技術為基礎而研發生產的，采用的是(shi)非接觸式光學(xue)測量(liang)(liang)，在(zai)獲(huo)得實時數據的同(tong)時，不會對產品造成任(ren)何損(sun)傷(shang)，從(cong)而有(you)效(xiao)節(jie)約了(le)生產成本，提(ti)高了(le)生產效(xiao)率(lv)，并且在(zai)線檢(jian)測，沒有(you)滯(zhi)后(hou)性(xing)(xing)，從(cong)而減(jian)少不合格品，對表面缺陷檢(jian)測亦如此。

在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域，除了光學3d輪廓測量儀，其它(ta)儀(yi)器達不(bu)到檢測的(de)精度要求。

光學3d輪廓測量儀的優點(dian)：

1、非接觸高精密測(ce)量，不(bu)會劃(hua)傷甚(shen)至(zhi)破(po)壞(huai)工件。

2、測量速(su)度快，不必像探(tan)頭(tou)逐(zhu)點進(jin)行測量。

3、不必作探頭半(ban)徑(jing)補正，光(guang)點位(wei)置就是工件表(biao)面測量的位(wei)置。

4、對高深寬(kuan)比的溝槽結構(gou)，可以快速而精確的得到理(li)想的測量(liang)結果。

二、光學3d輪廓測量儀的參數有哪些

1、Z向分(fen)辨率(lv)：0.1nm

2、橫向分(fen)辨率（0.5λ/NA）：100X~2.5X：0.5um~3.7um

3、粗糙度RMS重復性：0.1nm

4、表面形貌重復性：0.1nm

5、臺階測量：重(zhong)復性(xing)：0.1%；準(zhun)確度(du)：0.75%

6、主(zhu)要(yao)特點：非接(jie)觸式無損檢(jian)測，一鍵分析、快速高效。