一、探針的種類有哪些

在晶圓或(huo)芯(xin)片測試的(de)過程中，通(tong)常會使用探針來準確連接晶圓或(huo)芯(xin)片的(de)引腳或(huo)錫(xi)球與(yu)測試機，以便檢測產品的(de)導通(tong)性(xing)、電流性(xing)、功能性(xing)和老化性(xing)等性(xing)能指標。那么你知道探針的(de)種(zhong)類有哪些(xie)嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈(dan)性探針(zhen)是一個(ge)由螺旋彈(dan)簧(huang)組成(cheng)(cheng)的探針(zhen)，其(qi)兩端連接在上(shang)下柱栓上(shang)。螺旋彈(dan)簧(huang)的中間(jian)部(bu)(bu)分(fen)緊(jin)密纏繞(rao)在一起，以防止產生額外(wai)的電感和附件電阻(zu)。而彈(dan)簧(huang)的兩端部(bu)(bu)分(fen)則被(bei)稀疏纏繞(rao)，以降低探針(zhen)對被(bei)測試物體的壓力。在檢測集成(cheng)(cheng)電路(lu)時(shi)，信號(hao)會從下柱栓流向(xiang)上(shang)方，形成(cheng)(cheng)導電路(lu)徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探針為(wei)探針部提供適(shi)當的(de)縱向(xiang)位移(yi)，用于通(tong)過橫向(xiang)懸臂接觸待(dai)測半(ban)導體產品，以避免探針部對待(dai)測半(ban)導體產品施(shi)加過大的(de)針壓。

（3）垂直式探針

垂直(zhi)探針可(ke)以(yi)對(dui)應高(gao)密度信號觸點的(de)待測半導(dao)體(ti)產品的(de)細間距排列(lie)，針尖(jian)接觸待測半導(dao)體(ti)產品所需的(de)縱向位移可(ke)以(yi)通過針體(ti)本身(shen)的(de)彈性(xing)變形來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢(wu)髁(ke)合(he)金探(tan)針具(ju)有(you)穩定(ding)的接觸(chu)電阻，兼顧硬(ying)度和(he)柔韌性，不易發(fa)生(sheng)探(tan)針偏差。因此，鎢(wu)髁(ke)合(he)金探(tan)針是目前(qian)性能良好(hao)的一種常(chang)見探(tan)針。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針(zhen)用(yong)于(yu)對測(ce)試頻率比較敏感(gan)(gan)的測(ce)試環(huan)境；普通探針(zhen)用(yong)于(yu)對信號衰減不敏感(gan)(gan)的測(ce)試環(huan)境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材(cai)(cai)料：選擇(ze)材(cai)(cai)質通常為316不(bu)(bu)銹(xiu)鋼、金(jin)屬玻璃(li)、石英(ying)玻璃(li)、硅、玻璃(li)鋼等(deng)。不(bu)(bu)同材(cai)(cai)料的(de)探針具(ju)有不(bu)(bu)同的(de)化學(xue)惰性和機械性能，對探測的(de)液體和氣體有不(bu)(bu)同的(de)適應性。

（2）形狀：選擇(ze)探(tan)針的形狀應該(gai)根據實驗(yan)需求進行選擇(ze)，通常探(tan)針的形狀為直棒狀、U形、Z形等。考慮到實驗(yan)的靈敏度問(wen)題，在選用探(tan)針時必須(xu)與被測物相(xiang)匹配(pei)。

（3）長(chang)(chang)度：探針的長(chang)(chang)度是(shi)下(xia)降液面幅度的關鍵因素(su)。為獲得準確的下(xia)降水(shui)平，要根據實(shi)際測(ce)量需求選擇合適的長(chang)(chang)度。

（4）直徑：探針的(de)粗(cu)細通(tong)常采用0.5mm至5mm之間。過粗(cu)的(de)探針會影響測量的(de)靈敏(min)度，過細的(de)探針則可能(neng)會導致探針的(de)折斷(duan)。

（5）表(biao)面(mian)(mian)處(chu)理：在實(shi)驗中(zhong)，探(tan)針(zhen)處(chu)于探(tan)測(ce)的(de)介質(zhi)中(zhong)，探(tan)針(zhen)的(de)表(biao)面(mian)(mian)形態和性質(zhi)會直接影響到測(ce)量結果。因此，探(tan)針(zhen)的(de)表(biao)面(mian)(mian)要求(qiu)經過光潔處(chu)理和表(biao)面(mian)(mian)處(chu)理。

2、探針的要求

（1）質(zhi)量(liang)(liang)問(wen)題：在使用過程中應定期進行質(zhi)量(liang)(liang)檢查。探針(zhen)的質(zhi)量(liang)(liang)差會導致測量(liang)(liang)誤差增大，嚴重(zhong)時可能會損壞實(shi)驗設備。

（2）加(jia)工工藝問題：在探針的制(zhi)作(zuo)過程中，要(yao)保證探針的形狀、尺寸(cun)的精確與穩定。

（3）使(shi)用(yong)注意事項：避免在(zai)測量過程中(zhong)引(yin)入空氣，勿使(shi)用(yong)有(you)陷進、連續的(de)(de)探針以(yi)免擾動(dong)測量，對于使(shi)用(yong)多個探針進行測量的(de)(de)情況(kuang)要確保探針之間(jian)的(de)(de)長度和間(jian)距足夠。

（4）存(cun)儲和保養問題：盡可能(neng)地(di)保證存(cun)儲環境無除塵、避(bi)光性好；探針(zhen)表面不能(neng)有刮傷等損壞(huai)，使(shi)用(yong)前(qian)應清洗干凈且(qie)消毒處(chu)理。