一、什么是探針臺

探(tan)針(zhen)臺(tai)（Probe Station）是(shi)一種用于對半導體(ti)器(qi)件進(jin)行電性(xing)能(neng)測(ce)試的(de)重要設備。它通常由精密的(de)機械結(jie)構、高性(xing)能(neng)的(de)探(tan)針(zhen)針(zhen)頭(tou)和(he)(he)電性(xing)能(neng)測(ce)試儀器(qi)組成(cheng)。探(tan)針(zhen)臺(tai)可以對半導體(ti)芯片、集成(cheng)電路和(he)(he)其他(ta)微電子器(qi)件進(jin)行直接的(de)電性(xing)能(neng)測(ce)試，從而為研究和(he)(he)生產提供有(you)價值(zhi)的(de)信息。

二、探針臺的分類有哪些

一(yi)般根(gen)據用戶測(ce)試(shi)樣品(pin)、測(ce)試(shi)環境(jing)、應用類別、產品(pin)級別以及(ji)操作方式分類，如下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶圓測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、LED測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、功率器件測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、MEMS測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、PCB測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、液晶面(mian)板測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、太陽能電(dian)池片測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、材料表面(mian)電(dian)阻(zu)率測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、納(na)米器件測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高(gao)頻、射(she)頻及(ji)微(wei)波測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、高(gao)/低(di)溫環境(jing)(jing)測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、高(gao)/低(di)溫真空環境(jing)(jing)測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、低(di)電(dian)流(liu)（fA級）測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、高(gao)壓、大電(dian)流(liu)測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、特殊氣體(ti)環境(jing)(jing)測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、磁場環境(jing)(jing)測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、雙(shuang)面點針(zhen)(zhen)(zhen)測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、全封閉式探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)（非真空環境(jing)(jing)）。

3、按級別分類可分為：簡易型(xing)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)、標準型(xing)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)、分(fen)析型(xing)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)、高端型(xing)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)。

4、按操作方式可分為：手動型、半自(zi)動型、全自(zi)動型。

5、按特殊應用測試分為：非標準類結構測試探針(zhen)臺。