一、半導體設備檢修工具有哪些

半(ban)(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)(she)備是(shi)一種高精度的(de)(de)(de)機(ji)器(qi)，在現代(dai)化工業(ye)發(fa)展過程中(zhong)，流水線(xian)的(de)(de)(de)生(sheng)產操作對(dui)于(yu)半(ban)(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)(she)備要(yao)求較高，一旦出現故障(zhang)(zhang)會(hui)直(zhi)接影(ying)響整個企業(ye)的(de)(de)(de)生(sheng)產進(jin)程，因此需要(yao)定(ding)期進(jin)行維(wei)修(xiu)保養，防止(zhi)出現故障(zhang)(zhang)發(fa)生(sheng)導(dao)致(zhi)停產，對(dui)企業(ye)造成(cheng)較為嚴重的(de)(de)(de)經濟(ji)損(sun)失，半(ban)(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)(she)備檢修(xiu)可以用到哪些工具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受(shou)到振動和(he)沖擊，同(tong)時保護地面不受(shou)損傷，可以(yi)實(shi)現精確的位置控制，保質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺(tai)爪(zhua)式千斤頂(ding)可以實現(xian)前后100mm水平移(yi)動(dong)，頂(ding)升平穩(wen)無(wu)晃動(dong)，可以實現(xian)高(gao)精度的升降和(he)定位控制，可定制無(wu)塵型(xing)。

3、楔形千斤頂

楔(xie)形千斤(jin)頂只需5mm的縫隙，楔(xie)頭即(ji)可(ke)插入起升至34mm的高度，手柄(bing)可(ke)以360度旋轉，能(neng)用于狹窄空間。

4、滑動紙

滑動紙(zhi)(zhi)人力(li)即可推動1至9噸的重物，調整范(fan)圍為(wei)1cm-5cm，半導(dao)體設備檢修結(jie)束后抬起(qi)約(yue)1mm的高度(du)即可拉出滑動紙(zhi)(zhi)，操作簡單(dan)，輕松便攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半(ban)導(dao)體設備出現故障后，先做好總(zong)體分析，然后仔(zi)細檢查(cha)故障問(wen)題(ti)。

1、首(shou)先，檢查半(ban)(ban)導體(ti)(ti)設備(bei)(bei)周圍的冷凍機、真空壓縮機、變(bian)壓器等是否(fou)運行(xing)正常(chang)，如果(guo)這些設備(bei)(bei)都正常(chang)，再排(pai)查和檢查半(ban)(ban)導體(ti)(ti)設備(bei)(bei)主體(ti)(ti)，檢修人員(yuan)貿然(ran)拆解(jie)半(ban)(ban)導體(ti)(ti)設備(bei)(bei)會損(sun)壞元器件，重復的返工會浪費大量物(wu)力(li)(li)、人力(li)(li)和財力(li)(li)。

2、其次，全面(mian)了解(jie)半(ban)導體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)(bei)情況(kuang)，確定半(ban)導體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)(bei)故(gu)障(zhang)范圍，有針對性地采用(yong)檢修方法，半(ban)導體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)(bei)包括附加部(bu)分(fen)(fen)、傳送部(bu)分(fen)(fen)、動力部(bu)分(fen)(fen)、控制部(bu)分(fen)(fen)等，控制部(bu)分(fen)(fen)是半(ban)導體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)(bei)中最精密(mi)的部(bu)分(fen)(fen)，應重(zhong)點(dian)檢查(cha)這個(ge)部(bu)分(fen)(fen)，逐一(yi)排查(cha)電路板模塊(kuai)，反復進行對比分(fen)(fen)析(xi)，仔細檢查(cha)半(ban)導體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)(bei)故(gu)障(zhang)位置(zhi)。

3、最后(hou)，仔細清理半導體設備灰塵(chen)，檢查(cha)各(ge)個(ge)板(ban)件的(de)焊(han)接和線(xian)路連(lian)接，很多半導體設備在長時間(jian)使用過程中接口和插頭容(rong)易堆積大量灰塵(chen)導致漏電事故，線(xian)路板(ban)發(fa)生氧化形成虛(xu)焊(han)，對于這些(xie)問(wen)題(ti)，檢修人員應積極進行檢修維護。