一、光柵尺的測量精度是什么
光柵尺的測量精度指在任意一米長的測量范圍內,測量曲線上的極限值±F不超過精度等級±a,也(ye)就是(shi)光柵尺的(de)測(ce)量(liang)結(jie)(jie)果與實際值(zhi)之間的(de)差(cha)距(ju)小于所標稱的(de)值(zhi),如有(you)效測(ce)量(liang)范(fan)圍2040mm,精(jing)度3um的(de)光柵尺,任意一(yi)米范(fan)圍內(nei)的(de)測(ce)量(liang)結(jie)(jie)果與實際值(zhi)的(de)差(cha)距(ju)小于±3um,注意,不是±1.5um。
二、光柵尺的分辨率是什么意思
分(fen)辨(bian)率(lv)是(shi)在顯(xian)(xian)示設(she)備(bei)上(如(ru)數(shu)(shu)顯(xian)(xian)表(biao)、數(shu)(shu)控(kong)系(xi)統(tong)),其數(shu)(shu)值累(lei)加的(de)最小單位。光(guang)柵(zha)尺(chi)(chi)的(de)分(fen)辨(bian)率(lv)與信號(hao)(hao)(hao)類型有關,如(ru)1Vpp正弦波信號(hao)(hao)(hao)可以任(ren)意倍(bei)頻,所以1Vpp信號(hao)(hao)(hao)的(de)光(guang)柵(zha)尺(chi)(chi)其分(fen)辨(bian)率(lv)由(you)接(jie)收端的(de)設(she)備(bei)(如(ru)數(shu)(shu)顯(xian)(xian)表(biao)或數(shu)(shu)控(kong)系(xi)統(tong))確定,光(guang)柵(zha)尺(chi)(chi)信號(hao)(hao)(hao)周期(qi)20um,20倍(bei)頻后是(shi)0.001mm,如(ru)果200倍(bei)頻后分(fen)辨(bian)率(lv)就是(shi)0.0001mm。
三、光柵尺精度和分辨率區別
對于傳感器的分(fen)辨率與精度(du)的理解,可以拿千分(fen)尺(chi)為例,分(fen)辨率代表千分(fen)尺(chi),最(zui)多(duo)可以讀到(dao)小數點后幾位,但精度(du)還與尺(chi)子的加工精度(du),測量(liang)方(fang)法(fa)有(you)關(guan)系。同(tong)樣的,在光柵尺(chi)的使用中,分(fen)辨率與精度(du)是完全不同(tong)的兩個概(gai)念。
光(guang)柵尺(chi)的(de)分(fen)(fen)辨率(lv),是指光(guang)柵尺(chi)可讀(du)取并輸出的(de)最小長度(du)變化,對應的(de)參數(shu)有:每毫米(mi)光(guang)柵刻線數(shu)、脈(mo)沖數(shu)、細分(fen)(fen)等(deng)。比如50線光(guang)柵和(he)100線光(guang)柵在同等(deng)條(tiao)件下分(fen)(fen)辨率(lv)就不(bu)一(yi)樣(yang)(yang),同等(deng)的(de)50線光(guang)柵如果(guo)細分(fen)(fen)方法不(bu)一(yi)樣(yang)(yang)分(fen)(fen)辨率(lv)也(ye)會不(bu)一(yi)樣(yang)(yang)。
光(guang)柵尺的(de)精(jing)度反映了光(guang)柵尺輸出(chu)的(de)信(xin)號數(shu)據對測量的(de)真實長度的(de)準確度,可以理解為測量誤差值,是已(yi)測定的(de)固定值,對應的(de)參數(shu)是微(wei)米(μm)、納米(nm)。
目前國內(nei)光柵(zha)尺分辨(bian)(bian)率一(yi)般有(you)5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那么這些(xie)分辨(bian)(bian)率是怎(zen)么得來的呢?
以每毫米50線光柵為例,經過4細分,就能得到很簡單的5μm的分辨率,而不用采用電子細分,這也是目前國內機床尺的多數工藝,至于高分辨率的光柵尺,就必須采用電子細分技術,增加插補細分器才能得到。高分辨率光柵尺一般應用于(yu)儀(yi)器儀(yi)表如視頻儀(yi)、工具(ju)顯微(wei)鏡、CNC加(jia)工中心等(deng)。