隨著改(gai)革開(kai)放的(de)(de)深入，中國在(zai)大部分領(ling)域(yu)(yu)都逐漸追上了西方國家的(de)(de)步伐(fa)，這值得我們(men)驕傲(ao)。然而有一個領(ling)域(yu)(yu)一直是(shi)(shi)國人的(de)(de)痛(tong)點，那就是(shi)(shi)芯(xin)(xin)片(pian)制(zhi)造(zao)行業，因為種種原(yuan)因，中國芯(xin)(xin)片(pian)領(ling)域(yu)(yu)的(de)(de)發展艱難無比，甚(shen)至可以說(shuo)是(shi)(shi)毫無建樹了。但羅馬(ma)不是(shi)(shi)一天建成的(de)(de)，要解決芯(xin)(xin)片(pian)制(zhi)造(zao)難題，可以先從芯(xin)(xin)片(pian)制(zhi)造(zao)中的(de)(de)重要材料做起。
2021年7月(yue)，江蘇南大光電材料股份有限(xian)公司在官網(wang)發布最新消(xiao)息，消(xiao)息稱其公司旗(qi)下(xia)生產的ArF光刻膠(jiao)獲(huo)(huo)得(de)了(le)國外(wai)客戶的一批訂(ding)(ding)單，能夠在光刻膠(jiao)領域獲(huo)(huo)得(de)國外(wai)訂(ding)(ding)單，足以說(shuo)明其產品已經達到國際標準。
首先(xian)科普(pu)一下光(guang)刻膠(jiao)是什(shen)么。光(guang)刻膠(jiao)是指在光(guang)刻前涂在硅晶圓上(shang)的材(cai)料(liao)，它是制作(zuo)芯片(pian)過程中的重要材(cai)料(liao)，按照工藝水平可以(yi)分為g線(xian)(xian)、i線(xian)(xian)、KrF、ArF、EUV合(he)計5種類型。
而ArF光(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)一般用于130nm-14nm，最(zui)多可(ke)以用于7nm DUV工藝。而在(zai)ArF光(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)的(de)市(shi)場，國(guo)內ArF的(de)自(zi)給率僅(jin)為(wei)5%左右，這個領域同(tong)樣被日(ri)本和美(mei)國(guo)所壟斷，而此次國(guo)內ArF光(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)的(de)突(tu)破意味著中國(guo)在(zai)ArF光(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)領域正(zheng)式擺脫了美(mei)日(ri)的(de)鉗(qian)制。
芯(xin)片(pian)領域我們仍(reng)然(ran)落后(hou)，但沒有什么(me)是(shi)一定的(de)。此次(ci)南大光(guang)電在(zai)光(guang)刻膠市場(chang)上(shang)的(de)突破，可以說是(shi)為中(zhong)國(guo)半導體產業的(de)發(fa)展奠定了堅實的(de)基礎，就(jiu)這樣一步(bu)步(bu)的(de)走下去，中(zhong)國(guo)也必將突破芯(xin)片(pian)領域的(de)技術封鎖。
江蘇南大光電(dian)材料(liao)股份(fen)有限公司是一(yi)家(jia)專業從事高純電(dian)子材料(liao)研發、生(sheng)產(chan)和銷售的高新技術企業，公司于(yu)2012年8月7日在深圳證券交易所創業板掛牌上市（股票代(dai)碼300346）。
憑借30多年(nian)來的技術積累優勢，公司先后攻克了(le)國(guo)家863計劃MO源(yuan)全系(xi)列產(chan)品產(chan)業化、國(guo)家“02—專項”高純電子氣體（砷烷、磷烷）研(yan)(yan)發與產(chan)業化、ALD/CVD前驅(qu)體產(chan)業化等多個(ge)困擾我國(guo)數十年(nian)的項目，填(tian)補了(le)多項國(guo)內空白(bai)。2017年(nian)，南大(da)光(guang)(guang)電承擔(dan)了(le)集成電路芯片制造用關鍵(jian)核心材料(liao)之(zhi)一的193nm光(guang)(guang)刻膠材料(liao)的研(yan)(yan)發與產(chan)業化項目。
通過承(cheng)擔國(guo)家重大(da)技術攻(gong)關項目并(bing)實現產(chan)業(ye)化，南大(da)光電形成了MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅體材料和光刻膠(jiao)四大(da)業(ye)務板塊(kuai)。憑借自身過硬的實力和良好(hao)的服(fu)務，公司與國(guo)內(nei)外重要(yao)的集成電路、LED優(you)秀企業(ye)形成良好(hao)的合作關系。產(chan)品在LED、IC領域客(ke)戶中廣受(shou)好(hao)評(ping)。
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