機油(you)壓力(li)傳(chuan)感(gan)器原理 汽車機油(you)壓力(li)傳(chuan)感(gan)器工(gong)作(zuo)原理
機油壓力傳感器原理——簡介
機油壓力傳感器簡稱是(MEMS)是一種(zhong)微電子機械系統。它集成了微型傳感器、執(zhi)行器以及信(xin)號處理(li)和控制電路(lu)(lu)、接口電路(lu)(lu)、通信(xin)和電源。且其(qi)體(ti)積非常(chang)小。
一般常用的有硅(gui)壓阻式(shi)和硅(gui)電(dian)(dian)容式(shi),兩(liang)者都是在硅(gui)片上生成的微機(ji)械電(dian)(dian)子傳感器。一般情況上,我們通過(guo)機(ji)油(you)壓力傳感器來檢測汽(qi)(qi)車(che)的機(ji)油(you)向(xiang)內的汽(qi)(qi)油(you)還有多(duo)少,并將檢測到的信號轉換成我們可以理解(jie)的信號,提醒我們還有多(duo)少汽(qi)(qi)油(you),或者還可以走多(duo)遠,甚(shen)至是提醒汽(qi)(qi)車(che)需要加汽(qi)(qi)油(you)了。
機油壓力傳感器原理——原理
MEMS壓(ya)力傳感(gan)(gan)器(qi)有硅壓(ya)阻式壓(ya)力傳感(gan)(gan)器(qi)和硅電(dian)容式壓(ya)力傳感(gan)(gan)器(qi),兩者都是在硅片上生成的(de)微(wei)機械電(dian)子(zi)傳感(gan)(gan)器(qi)。
MEMS硅(gui)壓阻式壓力傳(chuan)感器采用(yong)周邊固(gu)定的圓形(xing)應力杯硅(gui)薄膜(mo)內壁,采用(yong)MEMS技術直接將四個(ge)高精密半(ban)導體(ti)應變片刻制(zhi)在其表面應力(li)最大處,組成(cheng)惠斯頓(dun)測(ce)(ce)量(liang)電(dian)(dian)(dian)橋(qiao),作為(wei)力(li)電(dian)(dian)(dian)變換(huan)測(ce)(ce)量(liang)電(dian)(dian)(dian)路(lu),將壓力(li)這個(ge)物理量(liang)直接變換(huan)成(cheng)電(dian)(dian)(dian)量(liang),其測(ce)(ce)量(liang)精度能達(da)0.01-0.03%FS。
硅壓(ya)(ya)阻式(shi)壓(ya)(ya)力傳感器是采用高(gao)精密半導體電阻應變(bian)片組成(cheng)惠(hui)斯(si)頓電橋作為力電變(bian)換測量(liang)(liang)電路的(de),具有較高(gao)的(de)測量(liang)(liang)精度、較低(di)的(de)功耗(hao)和極低(di)的(de)成(cheng)本。惠(hui)斯(si)頓電橋的(de)壓(ya)(ya)阻式(shi)傳感器,如無壓(ya)(ya)力變(bian)化,其輸(shu)出(chu)為零,幾乎不耗(hao)電。
利用MEMS技術在硅片上(shang)制造出(chu)橫隔柵狀,上(shang)下二根橫隔柵成為一(yi)組電容式(shi)壓(ya)力傳(chuan)感器(qi)。
上橫隔柵受壓力作用向下位移,改變了上下二根橫隔柵的間距,也就改變了板間電容量的大小,即△壓力=△電容(rong)量(liang)。
機油壓力傳感器原理——特點
MEMS壓力傳感(gan)器(qi)可以用(yong)類(lei)似集成電路的設計技(ji)術和制(zhi)造工藝,進行(xing)高精度、低(di)成本的大(da)批量生產,從而為消費電子(zi)和工業過程控制(zhi)產品用(yong)低(di)廉的成本大(da)量使用(yong)MEMS傳(chuan)感(gan)器打開方便(bian)之門,使壓力控制變得簡單、易(yi)用和智能化(hua)。
傳統的機械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形,由機械量彈性變形到電量轉換輸出,因此它不可能如MEMS壓力傳感器那(nei)樣,像集成電路那(nei)么微小,而且成本也遠遠高于(yu)MEMS壓(ya)力(li)傳感器。相對于傳統的機(ji)械量(liang)傳感器,MEMS壓力(li)傳(chuan)感(gan)器的尺寸更小,最大的不超過一個厘米,相對(dui)于(yu)傳(chuan)統“機械”制(zhi)造(zao)技(ji)術,其性價比大幅度(du)提高。
機油壓力傳感器原理——應用
機油壓力傳感器廣泛應用于汽車電子如TPMS、發動機(ji)機(ji)油壓(ya)力傳感器(qi)、汽車剎車系(xi)統空(kong)氣壓(ya)力傳感器(qi)、汽車發動機(ji)進氣歧管壓(ya)力傳感器(qi)(TMAP)、柴油機共軌(gui)壓力傳感器。
消費電子如(ru)胎(tai)壓(ya)計、血(xue)壓(ya)計、櫥用秤、健康秤,洗(xi)(xi)衣(yi)機(ji)(ji)、洗(xi)(xi)碗(wan)機(ji)(ji)、電冰箱(xiang)、微波(bo)爐、烤箱(xiang)、吸塵器(qi)(qi)用壓(ya)力(li)傳(chuan)感器(qi)(qi),空調壓(ya)力(li)傳(chuan)感器(qi)(qi),洗(xi)(xi)衣(yi)機(ji)(ji)、飲(yin)水機(ji)(ji)、洗(xi)(xi)碗(wan)機(ji)(ji)、太陽(yang)能熱水器(qi)(qi)用液位控制壓(ya)力(li)傳(chuan)感器(qi)(qi)。工業(ye)電子如(ru)數字壓(ya)力(li)表、數字流量(liang)表、工業(ye)配料稱重等(deng)。