一、快速退火爐的主要功能和特點有哪些
快(kuai)速退(tui)(tui)火(huo)爐是用于(yu)快(kuai)速熱處(chu)理(li)、熱氧化處(chu)理(li)、高溫退(tui)(tui)火(huo)的設備,采用先進(jin)的微電腦控制系(xi)統,采用PID閉環控制溫度(du),可(ke)以達到極(ji)高的控溫精度(du)和溫度(du)均勻性,并且可(ke)配置真空腔體,也可(ke)根(gen)據用戶工藝需求配置多路(lu)氣體。
主要功能和特點(dian):
1、可視化7寸觸摸屏,設定數據和操作(zuo)都是(shi)圖文界面,操作(zuo)方(fang)便(bian)。
2、爐體配備高(gao)精度移(yi)動平(ping)臺(tai),運行平(ping)穩(wen)無抖動。
3、爐(lu)管(guan)可自由移(yi)動,且密(mi)封(feng)法蘭之間用搭扣壓緊連接,放、取物料(liao)方便(bian)快捷,避(bi)免了螺栓密(mi)封(feng)人為操作導致(zhi)漏氣的(de)(de)可能(neng)、減少(shao)了因安裝法蘭而造成加熱(re)管(guan)損壞(huai)的(de)(de)可能(neng)、當爐(lu)管(guan)移(yi)出爐(lu)膛(tang)時冷(leng)確(que)風扇啟(qi)動,可實(shi)現試樣的(de)(de)迅速降溫,滿足材料(liao)驟(zou)冷(leng)驟(zou)熱(re)的(de)(de)實(shi)驗(yan)要求。
4、爐膛采用進(jin)口多晶纖維真(zhen)空吸(xi)附制成,采用進(jin)口紅外線加熱管加熱,使用壽命可達5000小(xiao)時,升溫速度快,最高溫度可達1050℃。
5、預留了真空、氣路(lu)快速接口,可配(pei)合(he)我司真空系統、混氣系統使用。
6、預留了(le)485轉換接口,可(ke)通過我司專(zhuan)用軟件,與計(ji)算(suan)機互聯,可(ke)實(shi)(shi)現單(dan)臺(tai)或者(zhe)多臺(tai)電爐的遠程控制、實(shi)(shi)時追蹤、歷(li)史記錄、輸出報(bao)表等(deng)功能。
7、設置超溫(wen)報警并斷電,漏(lou)電保護,操作安全(quan)可(ke)靠。
二、快速退火爐的應用領域介紹
了解了快速退火爐的功能和特點后,再來看看快速退火爐的應(ying)用領域介紹(shao)吧!
1、快速熱處理(li)(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN)。
2、離子注(zhu)入/接(jie)觸退火。
3、金屬合金。
4、熱氧化(hua)處(chu)理。
5、化合物(wu)(wu)合金(砷化鎵(jia)、氮化物(wu)(wu)等)。
6、多晶硅(gui)退火。
7、太陽能(neng)電池片(pian)退火。
8、高溫退火。
9、高溫擴散。