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快速退火爐的主要功能和特點有哪些 快速退火爐的應用領域介紹

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2024-03-14 評論 0
摘要:快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃,從而消除晶圓或者材料內部的一些缺陷,改善產品性能。接下來本文將帶來快速退火爐的主要功能和特點有哪些以及快速退火爐的應用領域介紹,感興趣的小伙伴趕緊點進來看看吧!

一、快速退火爐的主要功能和特點有哪些

快(kuai)速退(tui)(tui)火(huo)爐是用于(yu)快(kuai)速熱處(chu)理(li)、熱氧化處(chu)理(li)、高溫退(tui)(tui)火(huo)的設備,采用先進(jin)的微電腦控制系(xi)統,采用PID閉環控制溫度(du),可(ke)以達到極(ji)高的控溫精度(du)和溫度(du)均勻性,并且可(ke)配置真空腔體,也可(ke)根(gen)據用戶工藝需求配置多路(lu)氣體。

主要功能和特點(dian):

1、可視化7寸觸摸屏,設定數據和操作(zuo)都是(shi)圖文界面,操作(zuo)方(fang)便(bian)。

2、爐體配備高(gao)精度移(yi)動平(ping)臺(tai),運行平(ping)穩(wen)無抖動。

3、爐(lu)管(guan)可自由移(yi)動,且密(mi)封(feng)法蘭之間用搭扣壓緊連接,放、取物料(liao)方便(bian)快捷,避(bi)免了螺栓密(mi)封(feng)人為操作導致(zhi)漏氣的(de)(de)可能(neng)、減少(shao)了因安裝法蘭而造成加熱(re)管(guan)損壞(huai)的(de)(de)可能(neng)、當爐(lu)管(guan)移(yi)出爐(lu)膛(tang)時冷(leng)確(que)風扇啟(qi)動,可實(shi)現試樣的(de)(de)迅速降溫,滿足材料(liao)驟(zou)冷(leng)驟(zou)熱(re)的(de)(de)實(shi)驗(yan)要求。

4、爐膛采用進(jin)口多晶纖維真(zhen)空吸(xi)附制成,采用進(jin)口紅外線加熱管加熱,使用壽命可達5000小(xiao)時,升溫速度快,最高溫度可達1050℃。

5、預留了真空、氣路(lu)快速接口,可配(pei)合(he)我司真空系統、混氣系統使用。

6、預留了(le)485轉換接口,可(ke)通過我司專(zhuan)用軟件,與計(ji)算(suan)機互聯,可(ke)實(shi)(shi)現單(dan)臺(tai)或者(zhe)多臺(tai)電爐的遠程控制、實(shi)(shi)時追蹤、歷(li)史記錄、輸出報(bao)表等(deng)功能。

7、設置超溫(wen)報警并斷電,漏(lou)電保護,操作安全(quan)可(ke)靠。

二、快速退火爐的應用領域介紹

了解了快速退火爐的功能和特點后,再來看看快速退火爐的應(ying)用領域介紹(shao)吧!

1、快速熱處理(li)(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN)。

2、離子注(zhu)入/接(jie)觸退火。

3、金屬合金。

4、熱氧化(hua)處(chu)理。

5、化合物(wu)(wu)合金(砷化鎵(jia)、氮化物(wu)(wu)等)。

6、多晶硅(gui)退火。

7、太陽能(neng)電池片(pian)退火。

8、高溫退火。

9、高溫擴散。

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