一、光刻膠怎么保存

1、溫度：光刻膠應存放在低溫環境下，一般建議存放在-20℃以下的冰箱中，避免光刻膠受熱變質。同時，光(guang)刻膠在存放和使用過程中應避免受到溫度變化的影(ying)響(xiang)，以免影(ying)響(xiang)其性能(neng)和質量。

2、光照：光刻膠應避免直接暴露在強光下，以免光刻膠受到光照而失去靈敏度。因此，在存放和(he)使(shi)用(yong)光(guang)刻膠時，應(ying)盡量避免光(guang)照(zhao)，可(ke)以使(shi)用(yong)黑色遮光(guang)袋或黑色遮光(guang)箱(xiang)進行保(bao)護。

3、濕度：光刻膠應存放在干燥的環境中，避免受潮。因為潮濕的環境會影響光刻膠的性能和質量，甚至(zhi)會導致(zhi)光刻(ke)膠失效。因(yin)此(ci)，在存放和使用光刻(ke)膠時，應盡(jin)量避免(mian)受(shou)潮，可以使用密(mi)封(feng)袋(dai)或密(mi)封(feng)容(rong)器進行(xing)保(bao)護。

4、震動：光刻膠應避免受到劇烈的震動和振動，以免影響其性能和質量。因此，在存放和使用光刻膠時，應(ying)盡量(liang)避免(mian)受到震動和振動，可以(yi)使用泡沫箱或其(qi)他緩(huan)沖材料進行保護。

二、光刻膠使用和儲存注意事項

1、保存

光刻膠中的光敏組(zu)分是非常脆弱的，除了有(you)溫度的要(yao)求外(wai)(wai)，對(dui)于儲存(cun)時間和(he)外(wai)(wai)包(bao)裝材料有(you)很嚴格的要(yao)求。一般使用棕色的玻璃瓶包(bao)裝，再套上黑色塑料袋。

光刻膠的保存期限一般為6個月至1年左右，具體時間取決于光刻膠的種類和保存條件。因此，在(zai)存(cun)放和使(shi)用光(guang)刻膠時，應(ying)注意光(guang)刻膠的(de)保存(cun)期限(xian)，避免使(shi)用過(guo)期光(guang)刻膠。

2、光刻膠的涂布溫度

光刻膠涂布溫度一般要和室溫相同，原因是與室溫相同可以大減少光刻膠的溫度波動，從而減少工藝波動。而凈化間室溫一般是23度，所以光刻(ke)膠(jiao)涂(tu)布溫度一(yi)般為23度。一(yi)般在旋涂的情況下，高于會(hui)(hui)中間(jian)厚，低于會(hui)(hui)中間(jian)薄。同時涂布(bu)前，wafer也(ye)需要冷(leng)板，保證每次涂布(bu)wafer的溫度一(yi)致。

3、涂布時濕度的控制

現在(zai)(zai)光刻膠(jiao)涂覆(fu)工段(duan)(duan)一般(ban)都(dou)與自(zi)動純水清(qing)洗線(xian)連在(zai)(zai)一起，很多時候都(dou)只考慮此段(duan)(duan)的(de)潔凈度，而疏忽(hu)了(le)該段(duan)(duan)的(de)濕度控制，使得光刻膠(jiao)涂覆(fu)的(de)良品率比較(jiao)低，在(zai)(zai)顯影時光刻膠(jiao)脫落(luo)嚴(yan)重，起不到保護(hu)阻(zu)蝕的(de)效(xiao)果。

4、涂膠后產品的放置時間的控制

在(zai)生產(chan)設備(bei)出(chu)現(xian)故障等(deng)特(te)殊(shu)情況下(xia)，涂(tu)完(wan)光刻膠(jiao)的產(chan)品需要保(bao)(bao)留，保(bao)(bao)留的時間(jian)一(yi)般不(bu)(bu)超過8小時，曝光前如已(yi)被感（即膠(jiao)膜已(yi)失效(xiao)），不(bu)(bu)能作為(wei)正品，需返工處理。

5、前烘溫度和時間的控制

前(qian)(qian)烘的(de)目的(de)是促使膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)膜(mo)內溶劑充分揮(hui)發(fa)，使膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)膜(mo)干(gan)燥以(yi)增強膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)膜(mo)與(yu)基板表面(mian)的(de)粘附(fu)性和(he)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)膜(mo)的(de)耐(nai)磨(mo)性。曝光(guang)(guang)(guang)時，掩模版(ban)與(yu)光(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)即使接觸也(ye)不會損傷(shang)光(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)膜(mo)和(he)沾污掩模膜(mo)，同時只有光(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)干(gan)凈、在曝光(guang)(guang)(guang)時，光(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)才能充分地和(he)光(guang)(guang)(guang)發(fa)生反應(ying)。同時注意(yi)前(qian)(qian)烘的(de)溫度不能過高(gao)，過高(gao)會造(zao)成光(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)膜(mo)的(de)碳化，從而影響(xiang)光(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)效果。一般情況(kuang)下，前(qian)(qian)烘的(de)溫度取值比后烘堅膜(mo)溫度稍低一些(xie)，時間稍短(duan)一些(xie)。

6、顯影條件的控制

顯影時必須控制好顯影液的溫度、濃度及顯影的時間。在一定濃度下的顯影液中，溫度和時間直接影響的速度，若顯影時間不足或溫度低，則感光部位的光刻膠不能夠完(wan)全溶解(jie)，留有一層(ceng)光(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)，在刻(ke)(ke)(ke)蝕時(shi)，這層(ceng)膠(jiao)(jiao)會(hui)(hui)對(dui)膜(mo)面進行(xing)保護(hu)作用(yong)，使(shi)應(ying)該刻(ke)(ke)(ke)蝕的(de)膜(mo)留下來。若顯影(ying)時(shi)間過長或溫度(du)過高，顯影(ying)時(shi)未被曝光(guang)部位的(de)光(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)也(ye)會(hui)(hui)被從邊緣(yuan)里鉆溶。使(shi)圖(tu)案(an)的(de)邊緣(yuan)變差，再嚴重(zhong)會(hui)(hui)使(shi)光(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)大量脫落，形(xing)成(cheng)脫膠(jiao)(jiao)。