一、芯片封裝需要光刻機嗎
光刻機是制造芯片的核心裝備,很多朋友都知道,一般是芯片制造過程中使用,芯片封裝和芯片制造不同,那么(me)芯片封(feng)裝要(yao)用光刻機嗎(ma)?
一般來說(shuo),普通(tong)芯(xin)(xin)片封裝不(bu)需(xu)要(yao)用到光(guang)刻機,不(bu)過高端芯(xin)(xin)片封測(ce),比(bi)如(ru)晶圓級封測(ce),就需(xu)要(yao)用到光(guang)刻機。不(bu)過值得一提的(de)是,芯(xin)(xin)片封裝用的(de)光(guang)刻機和我們(men)平時常說(shuo)的(de)光(guang)刻機其實是有所不(bu)同的(de)。
二、芯片封裝用的什么光刻機
芯片封裝用的光刻機是封裝光刻機,又叫后道光刻機;而我們常說的卡脖子的光刻機,實(shi)際上是(shi)用于晶圓制造的前道光刻機:
1、前(qian)道光刻機又分為EUV和(he)DUV光刻機。EUV也就是“極深紫外線”的(de)意思(si),EUV能(neng)滿(man)足10nm以下的(de)晶圓(yuan)制造;而DUV是“深紫外線”的(de)意思(si),DUV基(ji)本(ben)上(shang)只能(neng)做到(dao)25nm。
2、后道光刻機是用于芯片封裝,相(xiang)比(bi)前道光刻(ke)機來(lai)說(shuo),技(ji)術含(han)量(liang)要低不少,精度(du)方面(mian)也有所(suo)差距,后道光刻(ke)機已經可以國產(chan)了,并且很多國產(chan)的封(feng)裝光刻(ke)機在后道光刻(ke)機領域做到(dao)了世界領先水平。