一、ITO靶材是什么材料

ITO靶材，全稱為氧化銦錫靶材，是電子信息工業領域的關鍵材料之一。氧化銦錫（英文全稱為Indium Tin Oxide，簡稱“ITO”），由氧化銦和氧化錫粉末按照一定比例混合后，經過一系列的生產工藝加工成型，再高溫燒結形成的黑灰色陶瓷半導體材料。薄薄的氧化銦錫在可(ke)見光范圍內呈現透明(ming)狀。不(bu)(bu)過在紅外(wai)光線(xian)(xian)下(xia)，氧化銦錫層起(qi)著不(bu)(bu)透明(ming)的作用，反(fan)射紅外(wai)線(xian)(xian)。

氧(yang)化(hua)銦錫作為一種n型半導體材料，具有高的(de)(de)(de)導電(dian)(dian)率(lv)、優異(yi)的(de)(de)(de)可見光(guang)透過率(lv)、較強(qiang)的(de)(de)(de)機(ji)(ji)械(xie)硬度和良好的(de)(de)(de)化(hua)學穩(wen)定性，主(zhu)要用于制作液晶顯(xian)示器(qi)(qi)、平板顯(xian)示器(qi)(qi)、等(deng)離子顯(xian)示器(qi)(qi)、觸(chu)摸屏(ping)、電(dian)(dian)子紙、有機(ji)(ji)發光(guang)二極管、太(tai)陽(yang)能電(dian)(dian)池(chi)、抗靜電(dian)(dian)鍍(du)膜、EMI屏(ping)蔽的(de)(de)(de)透明傳導鍍(du)、各種光(guang)學鍍(du)膜等(deng)。

ITO靶(ba)(ba)材(cai)是(shi)濺(jian)(jian)射靶(ba)(ba)材(cai)中的一種(zhong)，主要(yao)通過磁控濺(jian)(jian)射將ITO靶(ba)(ba)材(cai)氣化，濺(jian)(jian)鍍到玻(bo)璃基板或柔性有機薄(bo)膜(mo)(mo)上(shang)，制造成(cheng)ITO薄(bo)膜(mo)(mo)，后者為(wei)透明導電氧化物(wu)薄(bo)膜(mo)(mo)，厚度(du)一般(ban)為(wei)30-200納米(mi)。

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二、ITO靶材應用領域

1、平板顯示器（純度5N）

在平板顯示領域，ITO靶材主要用于制作ITO導(dao)電(dian)玻璃及(ji)(ji)觸控屏電(dian)極(ji)平(ping)板，是LCD、PDP、OLED、觸摸屏等各類平(ping)板顯示(shi)器件(jian)制備的(de)核心材(cai)(cai)料(liao)。顯示(shi)面板一(yi)般涉及(ji)(ji)上(shang)下兩層ITO導(dao)電(dian)膜，用量較大，ITO靶(ba)材(cai)(cai)是平(ping)板顯示(shi)領域用量最大的(de)靶(ba)材(cai)(cai)之一(yi)。

ITO導電(dian)(dian)膜玻(bo)(bo)璃(li)(li)按電(dian)(dian)阻(zu)(zu)分為：高電(dian)(dian)阻(zu)(zu)玻(bo)(bo)璃(li)(li)（電(dian)(dian)阻(zu)(zu)范(fan)圍(wei)在150~500歐(ou)(ou)姆(mu)）、普通(tong)玻(bo)(bo)璃(li)(li)（電(dian)(dian)阻(zu)(zu)范(fan)圍(wei)在60~150歐(ou)(ou)姆(mu)）、低電(dian)(dian)阻(zu)(zu)玻(bo)(bo)璃(li)(li)（電(dian)(dian)阻(zu)(zu)范(fan)圍(wei)小于60歐(ou)(ou)姆(mu)）。其(qi)中高電(dian)(dian)阻(zu)(zu)玻(bo)(bo)璃(li)(li)一(yi)般(ban)用于靜(jing)電(dian)(dian)防護、觸控屏幕制作用；普通(tong)玻(bo)(bo)璃(li)(li)一(yi)般(ban)用于TN類液晶(jing)顯(xian)示器和電(dian)(dian)子(zi)抗干擾(rao)；低電(dian)(dian)阻(zu)(zu)玻(bo)(bo)璃(li)(li)一(yi)般(ban)用于STN、TFT液晶(jing)顯(xian)示器和透明線(xian)路(lu)板。

LCD面(mian)板(ban)組件總厚度不(bu)到1公分，內(nei)部包含20多項材(cai)(cai)料(liao)及元件。不(bu)同類型LCD所需材(cai)(cai)料(liao)不(bu)盡相同，但基本(ben)結構類似，即在ITO導(dao)電膜玻(bo)璃(li)內(nei)夾著彩色濾光(guang)(guang)片(pian)、偏光(guang)(guang)板(ban)、配向(xiang)膜等材(cai)(cai)料(liao)，灌入液晶材(cai)(cai)料(liao)，后封裝(zhuang)成(cheng)一(yi)個(ge)液晶盒。因此，ITO導(dao)電膜玻(bo)璃(li)作(zuo)為LCD面(mian)板(ban)的(de)關鍵基礎材(cai)(cai)料(liao)，約占(zhan)LCD面(mian)板(ban)材(cai)(cai)料(liao)成(cheng)本(ben)的(de)30%，而ITO靶材(cai)(cai)約占(zhan)導(dao)電玻(bo)璃(li)成(cheng)本(ben)的(de)20%。

2、薄膜太陽能電池（純度4N）

ITO是一(yi)(yi)種透(tou)明導電層，在太陽(yang)能(neng)(neng)電池(chi)中作為(wei)(wei)(wei)透(tou)光層，同時作為(wei)(wei)(wei)電極(ji)(ji)，一(yi)(yi)般為(wei)(wei)(wei)正極(ji)(ji)，另一(yi)(yi)個電極(ji)(ji)一(yi)(yi)般以金屬銀(yin)或鋁作為(wei)(wei)(wei)背(bei)電極(ji)(ji)使用(yong)。ITO靶材主要(yao)(yao)用(yong)于生成太陽(yang)能(neng)(neng)薄膜電池(chi)的背(bei)電極(ji)(ji)，主要(yao)(yao)需求(qiu)為(wei)(wei)(wei)方形板狀(zhuang)靶材。

3、保溫透光領域

ITO透明導(dao)電膜(mo)玻(bo)(bo)璃(li)(li)(li)作(zuo)為面(mian)發熱(re)體，通電后可以除冰霜，用(yong)于(yu)飛(fei)機擋(dang)風玻(bo)(bo)璃(li)(li)(li)、飛(fei)機眩窗(chuang)、激光(guang)測距儀、潛望(wang)鏡觀察窗(chuang)等，多(duo)年(nian)來已得到了廣泛(fan)的應用(yong)。ITO透明導(dao)電膜(mo)玻(bo)(bo)璃(li)(li)(li)正反(fan)(fan)面(mian)具有(you)(you)相反(fan)(fan)的紅(hong)外線通過及反(fan)(fan)射性能，玻(bo)(bo)璃(li)(li)(li)正面(mian)具有(you)(you)優(you)良(liang)的紅(hong)外線通過性，衰減量(liang)極小，而反(fan)(fan)面(mian)又具有(you)(you)紅(hong)外線阻擋(dang)反(fan)(fan)射作(zuo)用(yong)，因(yin)而該種(zhong)玻(bo)(bo)璃(li)(li)(li)具有(you)(you)優(you)良(liang)的保溫透光(guang)性能，已大量(liang)用(yong)于(yu)制造冷藏柜，隨(sui)著(zhu)成本的降低(di)將有(you)(you)望(wang)用(yong)于(yu)房屋(wu)節(jie)能。