一、ITO濺射靶材的制作方法

1、真空熱壓

真空熱壓利用熱能和機械能對ITO粉體進行致密化，可生產出密度為91%~96%的高密度ITO陶瓷靶材。該方法可以輕松獲得接近預期密度且孔隙率接近于零的ITO靶材。但受設備和模具尺寸的限制，真空熱壓在制備大尺寸濺射靶材方面優勢較小。

2、熱等靜壓

熱(re)(re)等靜壓(ya)(ya)(ya)（HIP）通(tong)過在壓(ya)(ya)(ya)力下(xia)燒結或在高(gao)溫下(xia)加壓(ya)(ya)(ya)來制備ITO濺射靶(ba)。與真空(kong)熱(re)(re)壓(ya)(ya)(ya)類(lei)似，HIP在加熱(re)(re)和加壓(ya)(ya)(ya)狀(zhuang)態下(xia)可以獲得高(gao)密度（幾(ji)乎是理論密度）和優(you)異的(de)物理和機械性能(neng)的(de)產品。但(dan)也受設備壓(ya)(ya)(ya)力和氣缸尺寸的(de)限制。

3、常溫燒結

室溫燒(shao)結(jie)是先通過(guo)漿(jiang)料澆(jiao)注或預壓(ya)制(zhi)備高密度(du)靶(ba)(ba)材預制(zhi)件，然后在一定(ding)氣氛和溫度(du)下燒(shao)結(jie)得(de)到ITO靶(ba)(ba)材。其最大(da)(da)的優勢(shi)在于(yu)能夠生產(chan)大(da)(da)尺(chi)寸的濺射靶(ba)(ba)材。但與(yu)其他燒(shao)結(jie)方法相比，這種(zhong)方法制(zhi)成的靶(ba)(ba)材純度(du)較低。

4、冷等靜壓

冷等靜壓(ya)(ya)（CIP）在常溫(wen)下(xia)以橡膠(jiao)或(huo)塑料(liao)為(wei)覆膜材料(liao)，以液(ye)體為(wei)壓(ya)(ya)力介質傳遞超高壓(ya)(ya)。CIP還可以制備更大尺寸(cun)的(de)ITO濺射靶材。而且價格便宜(yi)，適(shi)合大批量(liang)生產(chan)。但CIP要求材料(liao)在0.1~0.9MPa的(de)純氧環境中(zhong)經(jing)過(guo)1500~1600°C的(de)高溫(wen)燒結，具(ju)有較高的(de)風險。

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二、ITO濺射靶材生產難點

1、粉末制備

粉(fen)末冶金最核(he)心(xin)的競爭力就是粉(fen)體，能(neng)夠獨立生產高品質(zhi)穩定(ding)的粉(fen)體的公司，會在(zai)未(wei)來(lai)占有一席(xi)之地。

2、大尺寸燒結工藝

ITO靶材的另一(yi)個難點(dian)就是燒結(jie)工藝(yi)，精準(zhun)的燒結(jie)工藝(yi)是燒結(jie)高品質靶材的關鍵。燒結(jie)工藝(yi)細分(fen)為真空熱壓法(fa)、熱等靜壓法(fa)、常(chang)壓燒結(jie)法(fa)。目前(qian)高端(duan)顯示器(qi)用(yong)鍍膜靶材主要采(cai)用(yong)常(chang)壓燒結(jie)法(fa)，性價比高。

3、成本投入較大

ITO生產中需要(yao)使(shi)用(yong)非常(chang)(chang)多(duo)的(de)大(da)型(xing)設(she)(she)備(bei)，如冷壓機，大(da)型(xing)模壓機，燒結爐，加工(gong)設(she)(she)備(bei)及(ji)綁定設(she)(she)備(bei)，每一項的(de)投入(ru)都非常(chang)(chang)大(da)。整廠的(de)設(she)(she)備(bei)投入(ru)預計在5000萬以(yi)上（年產50噸），且因為是(shi)能耗大(da)戶，日(ri)常(chang)(chang)的(de)能源消耗也(ye)是(shi)非常(chang)(chang)可觀的(de)，運(yun)營維護成本也(ye)比較高。

4、產品的驗證

如何能夠(gou)自主的驗證(zheng)產(chan)品(pin)是否符合客戶的使用需求(qiu)，是產(chan)品(pin)能否一(yi)次通過客戶驗證(zheng)并且順(shun)利導入生產(chan)的關(guan)鍵因(yin)素，所以企業自己配套綁定(ding)檢(jian)測(ce)設備及鍍膜機(ji)就是保證(zheng)。