一、多弧離子反應鍍膜設備可鍍色彩

1、鍍(du)(du)銀(yin)灰色∶用鈦靶材，真空鍍(du)(du)抽至1.5×10-2Pa，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa左(zuo)右鍍(du)(du)三分鐘左(zuo)右。（產(chan)生Ti金屬(shu)層）

2、鍍銀白色(se)∶用鉻(ge)靶材，真(zhen)空度抽(chou)至(zhi)1.0×10-2Pa，充Ar（氬氣）至(zhi)1.5×10-1Pa左(zuo)右鍍三(san)分鐘左(zuo)右。（產生Cr金(jin)屬層）

3、鍍(du)(du)金(jin)色∶用(yong)鈦靶材(cai)，真(zhen)空度抽(chou)至(zhi)(zhi)1.5×10-2Pa，充Ar（氬(ya)氣(qi)）至(zhi)(zhi)1×10-1Pa鍍(du)(du)60秒—關氬(ya)氣(qi)（Ar）—開氮(dan)氣(qi)至(zhi)(zhi)2~4×10-1Pa鍍(du)(du)4分鐘左右（產生TiN化(hua)合(he)物）

4、鍍古銅色∶用一半鈦靶材，一半鈦(tai)鋁靶材，充Ar（氬氣）至(zhi)(zhi)1×10Pa-1開鈦(tai)靶鍍50秒—關Ar（氬氣）開氮氣至(zhi)(zhi)1×10-1Pa—開鈦(tai)靶、鈦(tai)鋁靶—充乙炔150流量左右(you)，氮氣調(diao)至(zhi)(zhi)3×10-1Pa左右(you)，鍍4分鐘(zhong)（加熱爐體至(zhi)(zhi)200°C左右(you)）。（產(chan)生TiCN和TiN化(hua)合(he)物）

5、鍍玫(mei)瑰(gui)金色∶跟古(gu)(gu)銅色一(yi)樣操(cao)作(zuo)，只是乙(yi)(yi)炔在60流量左右，氮氣(qi)調(diao)至2.5×10-1Pa左右（氮氣(qi)、乙(yi)(yi)炔要同(tong)時加進(jin)去反應，乙(yi)(yi)炔要保持不變，真空度多少只調(diao)節(jie)氮氣(qi)流量，古(gu)(gu)銅跟玫(mei)瑰(gui)金同(tong)樣調(diao)節(jie)）。（產生(sheng)TiCN化合(he)物）

6、鍍五(wu)彩色(se)∶用(yong)鈦靶材，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍1分鐘(zhong)后，關氬氣，開N氮氣至2.5×10-1Pa鍍70秒后關氮氣，開氧(yang)氣O2至4.5×10-1Pa鍍160秒左(zuo)右，（產生TiO2、Ti2O3等氧(yang)化物）

7、鍍珠(zhu)光色∶用鈦靶材，充O2（氧氣）在6.5×10-1Pa~7.5×10-1Pa不變動(dong)，鍍40秒左右即可，注意(yi)同(tong)時引(yin)弧(hu)，加熱爐體至180°C。（產生TiO2、Ti2O3等氧化物）

8、鍍18K金(jin)色∶用鋯靶(ba)材(cai)，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍30秒，關(guan)氬氣，開氮氣至2~4×10-1Pa左右鍍3~4分鐘(zhong)即(ji)可。（產生ZrN化合物）

9、鍍(du)土(tu)豪金(jin)色(se)∶裝一半(ban)鈦靶(ba)材(cai)，一半(ban)錯靶(ba)材(cai)，充Ar（（氬(ya)氣）1.0×10-1Pa鍍(du)鈦靶(ba)30秒后關氬(ya)氣，開氮氣至2~4×10-1Pa左(zuo)右(you)，開鈦靶(ba)、鋯靶(ba)，鍍(du)4分鐘左(zuo)右(you)。（產生TiZrN化合物）

10、鍍透明(ming)七彩色（AB彩）∶用鈦(tai)靶材，充O2（氧氣）至6.5~7.5×10-1Pa鍍4分鐘左右，加熱爐戶(hu)溫150°C。（產生TiO2、Ti2O3；TiO、等氧化物(wu)）

11、鍍酒紅色∶用鐵靶材，充O2（氧(yang)氣）至(zhi)7.5~9.5×10-1Pa鍍4~6分鐘，加(jia)熱(re)爐溫150°℃左右，弧焊機電(dian)流在(zai)150A左右（產生Fe2O3氧(yang)化物）。

12、鍍琥珀色∶用鐵靶(ba)材，充O2（氧氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍1.5~2.5分鐘(zhong)，加熱爐(lu)溫150℃左右(you)(you)，弧焊機(ji)電(dian)流在150A左右(you)(you)。（產(chan)生Fe2O3氧化物(wu)）

13、鍍寶石(shi)藍色，用鈦靶材，充Ar（氬氣(qi)）至1.0×10-1Pa鍍60秒后關氯氣(qi)，開(kai)氮氣(qi)800-900流(liu)量(liang)，同時開(kai)氧氣(qi)1000-1130流(liu)量(liang)（真空(kong)控制在2.5~3.5×10-1Pa鍍110秒左右(you)）。（產生TiO2、Ti2O3、TiO、等氧化物(wu)和TiN化合(he)物(wu)的混合(he)膜層）

14、鍍紫色∶同十三號工藝，充氮氣(qi)和氧氣(qi)的鍍膜時(shi)間(jian)控(kong)制在60-70秒左右，真空(kong)在2.5~3.8×10-1Pa左右即可(ke)。

15、鍍鉻(ge)黑(hei)色(se)∶用(yong)鈦(tai)Ti和鉻(ge)靶材(cai)，先充入氬氣(qi)(qi)Ar在(zai)1×10-1Pa鍍60秒(miao)左右(you)，關鈦(tai)靶，開鉻(ge)靶，關小(xiao)氯氣(qi)(qi)至80-120流(liu)量(liang)再通入CH乙(yi)快氣(qi)(qi)至8~9.0×10-1Pa，鍍300秒(miao)左右(you)。（產生CrC黑(hei)色(se)膜(mo)層(ceng)）

16、鍍槍黑色∶用鈦(tai)靶材(cai)，充入(ru)Ar氣在1.0×10-1Pa鍍60秒(miao)后，關小氬(ya)氣至80-120流(liu)量，再通入(ru)CH乙炔氣在8~9×10-1Pa鍍300秒(miao)左(zuo)右(you)。（產生TiC化合(he)物膜層）。

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二、各種靶材對應的PVD鍍膜顏色

選擇靶材種(zhong)類、材(cai)質和氣(qi)體（氮氣(qi)、氧(yang)氣(qi)、乙炔(gui)、甲烷(wan)、等），確定靶材(cai)及(ji)氣(qi)體種(zhong)類，然后調整氣(qi)體比例(li)、用量、濺(jian)(jian)射(she)功率、濺(jian)(jian)射(she)時間、基材(cai)處理(li)溫度(du)、濺(jian)(jian)射(she)溫度(du)、濺(jian)(jian)射(she)時間等工(gong)藝(yi)參數(shu)，制(zhi)備出顏色(se)膜(mo)層，廣泛應用于裝飾性(xing)鍍膜(mo)行業。

靶材膜層顏色可調的PVD鍍膜方法

1、鍍(du)金(jin)屬膜(mo)層(ceng)，將待鍍(du)產(chan)品傳入裝(zhuang)有金(jin)屬靶材的(de)鍍(du)膜(mo)腔(qiang)室，開啟泵抽真空及加熱(re)裝(zhuang)置(zhi)進(jin)行(xing)基(ji)底(di)加熱(re)，使得(de)本底(di)真空達到(dao)1×10-3Pa及達到(dao)80-150℃工藝溫度(du)后，向腔(qiang)室通入10-1000sccm的(de)氬(ya)氣，啟動濺(jian)射電源(yuan)，設(she)置(zhi)濺(jian)射功率1-15KW，鍍(du)膜(mo)時(shi)間10-300S，得(de)到(dao)厚度(du)為1-100nm的(de)金(jin)屬膜(mo)層(ceng)，金(jin)屬膜(mo)層(ceng)為銅(tong)（Cu）、銀（Ag）、鋁(lv)（Al）、鉻(ge)（Cr）等(deng)金(jin)屬膜(mo)層(ceng)，或鎳(nie)銅(tong)（NiCu）、鎳(nie)鉻(ge)（NiCr）等(deng)合金(jin)膜(mo)層(ceng)。

2、鍍低折(zhe)(zhe)射率(lv)膜層，將鍍完金屬膜層的產品傳入裝(zhuang)有可形成(cheng)低折(zhe)(zhe)射率(lv)膜層的靶材鍍膜腔室，加熱達到80-150℃的工藝(yi)溫度(du)，向腔室通入工藝(yi)氣體，設(she)置濺(jian)射功率(lv)1-15KW，鍍膜時間1-300S，得到厚度(du)為(wei)1-100nm的低折(zhe)(zhe)射率(lv)膜層，此低折(zhe)(zhe)射率(lv)膜層為(wei)氧化硅(gui)、氮化硅(gui)等膜層。

3、鍍高折射率(lv)(lv)膜(mo)(mo)層(ceng)，將鍍完低折射率(lv)(lv)膜(mo)(mo)層(ceng)的(de)產品傳入裝(zhuang)有可(ke)形成高折射率(lv)(lv)膜(mo)(mo)層(ceng)的(de)靶(ba)材鍍膜(mo)(mo)腔室(shi)，加熱達到80-150℃的(de)工藝(yi)(yi)溫(wen)度，向腔室(shi)通入工藝(yi)(yi)氣(qi)體(ti)，設置濺射功率(lv)(lv)1-15KW，鍍膜(mo)(mo)時(shi)間1-300S，得到厚度為(wei)1-100nm的(de)高折射率(lv)(lv)膜(mo)(mo)層(ceng)，所述高折射率(lv)(lv)膜(mo)(mo)層(ceng)為(wei)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鈦、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)鈦、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鋯、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)鋯、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鈮、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)鈮、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鋅(xin)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)銦、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鋁(lv)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鐵(tie)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鉻、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)鉻等膜(mo)(mo)層(ceng)，此高低折射膜(mo)(mo)層(ceng)的(de)工藝(yi)(yi)氣(qi)體(ti)為(wei)Ar、N2、O2中(zhong)(zhong)的(de)至少(shao)一種，其中(zhong)(zhong)Ar氣(qi)體(ti)流(liu)量(liang)為(wei)10-1000sccm，N2氣(qi)體(ti)流(liu)量(liang)為(wei)10-1000sccm，O2氣(qi)體(ti)流(liu)量(liang)為(wei)10-1000sccm。

4、重復步(bu)(bu)(bu)驟(zou)二和步(bu)(bu)(bu)驟(zou)三(san)數次，得到不同顏色的膜層(ceng)，重復步(bu)(bu)(bu)驟(zou)二和步(bu)(bu)(bu)驟(zou)三(san)的次數為1-100次。

以(yi)下是PVD真空(kong)鍍(du)膜(mo)(mo)裝飾薄膜(mo)(mo)常(chang)用材料及(ji)其(qi)常(chang)用氣體(ti)制作(zuo)的各類裝飾顏色涂層：

鋯靶(ba)+氮氣：黃(huang)綠金黃(huang)色

鋯靶+甲烷：深淺黑色

鋯(gao)+氧(yang)氣：白色、透(tou)明膜

鋯靶+氮(dan)氣+甲烷：金(jin)色、仿玫瑰金(jin)

鉻靶(ba)+甲烷：深淺黑色

鉻靶+氮氣：淺黑色

鉻靶+氮(dan)氣(qi)+甲(jia)烷：銀灰(hui)色

鉻靶+氧氣：黃色(se)、紫色(se)、綠(lv)色(se)

鉻靶+氧氣：銀色

不銹鋼(gang)靶(ba)+氧氣：紫色(se)

不(bu)銹(xiu)鋼靶(ba)+氮氣：藍色

不(bu)銹鋼(gang)靶+甲(jia)烷：亮黑色

不銹鋼靶+甲烷+氮氣：藍黑色

硅+氮氣：黑色

硅靶+氧(yang)氣：混濁(zhuo)白、透明膜

硅靶+甲(jia)烷：黃色(se)、綠色(se)、藍(lan)色(se)、黑色(se)（靶材純度(du)高于99%僅能調黑色(se)）

鈦靶+氧(yang)氣：光學膜(mo)七彩截(jie)色(se)

鈦(tai)靶+甲烷：深淺黑色（DLC制備不(bu)能達標(biao)）

鈦靶+氮氣：仿金色、黃銅色、紫(zi)色、紅色

鈦靶(ba)+氮氣+甲烷：仿玫瑰金(jin)、黑(hei)綠(lv)色、復(fu)古(gu)黃(huang)、棕色、紫色

鎢(wu)靶+氮氣：棕黃色

鎢靶+甲烷：深淺黑色(se)

鎢靶+氧氣：紫色(se)、鮮黃色(se)、棕色(se)、藍色(se)