一、硅片清洗機工作原理是什么
硅片清洗(xi)機(ji)是利用超聲(sheng)波(bo)清洗(xi)技術，在(zai)(zai)清洗(xi)過程中超聲(sheng)波(bo)頻(pin)率在(zai)(zai)合(he)理的范圍內往復掃(sao)動，帶動清洗(xi)液(ye)形成細微回流，使(shi)工件污垢在(zai)(zai)被超聲(sheng)剝離的同時迅速帶離工件表(biao)面，提高清洗(xi)效率。
具(ju)體的原理有以(yi)下：
1、真空脫氣，有效去除(chu)液體中氣體，且運用拋動功(gong)能，增(zeng)強超聲對工(gong)件表(biao)面油污(wu)和污(wu)垢的(de)清洗能力，縮短清洗時間。
2、洗籃轉動機構，重疊不可(ke)分(fen)拆的(de)零(ling)件或形狀復雜的(de)零(ling)件，也可(ke)做到均勻完(wan)整的(de)清洗。
3、減壓真(zhen)空系統，能吸(xi)出盲孔(kong)、縫(feng)隙及疊加零件(jian)之間(jian)的空氣，使超聲波(bo)在減壓的狀態下產生驚人(ren)的清(qing)洗效果。
4、真(zhen)空(kong)蒸汽清洗+真(zhen)空(kong)干燥系統，利用蒸汽洗凈做養護，完美實現清洗效果。
5、蒸汽清洗(xi)、干燥及清洗(xi)液加熱的全(quan)過(guo)程在(zai)減(jian)壓真空(kong)中(zhong)進行，更(geng)有效地確保了安全(quan)性。
6、防爆配件及簡潔(jie)加熱系(xi)統(tong)，進(jin)一步提高安全度。
二、硅片清洗機操作說明
1、欲清洗工(gong)件放入料(liao)框內專用固定夾內，由(you)人(ren)工(gong)將(jiang)料(liao)框放上(shang)入料(liao)口(kou)，等工(gong)位(wei)機械(xie)手(shou)自動將(jiang)料(liao)框送入清洗機本(ben)體，上(shang)下提升機構(gou)依照PLC指定的程(cheng)序將(jiang)料(liao)框搬送到相(xiang)應高度(du)位(wei)置(zhi)。
2、完(wan)成對工(gong)(gong)件的清(qing)洗(xi)、噴淋(lin)、漂(piao)洗(xi)、慢提拉脫水和熱風干燥后(hou)、送至清(qing)洗(xi)機出(chu)(chu)口(kou)，運送到卸料(liao)臺出(chu)(chu)料(liao)，等工(gong)(gong)位機械手由氣缸橫(heng)向驅動，直線滑軌導(dao)向。
3、上下提(ti)(ti)升由(you)馬達驅動，直線導軸導向(xiang)，慢提(ti)(ti)拉(la)提(ti)(ti)升機構由(you)變頻(pin)馬達驅動，直線滑塊導向(xiang)，上下料由(you)上下提(ti)(ti)升機構獨立完成，采用觸(chu)摸(mo)屏操作系統(tong)，有手動和自動切換開關(guan)及有關(guan)操作按鈕，能對整個運行(xing)過程實行(xing)控(kong)制。
