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硅片是半導體材料嗎 硅片怎么分辨等級

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2023-07-21 評論 0
摘要:目前全球半導體市場中,90%以上的芯片和傳感器都是基于硅材料制造而成。半導體硅片處于集成電路產業鏈上游,發揮著重要的行業基礎支撐作用。硅材料因其具有單方向導電特性、熱敏特性、光電特性、摻雜特性等優良性能,可以生長為大尺寸高純度晶體,且儲量豐富、價格低廉,故而成為全球應用最廣泛、最重要的半導體基礎材料,那么硅片怎么分辨等級呢?一起到文中來看看吧!

一、硅片是半導體材料嗎

是。

硅(gui)(gui)(gui)片(pian)是(shi)半導體(ti)材(cai)料(liao)的基石,它(ta)是(shi)先(xian)通過拉單晶制(zhi)作(zuo)成(cheng)硅(gui)(gui)(gui)棒(bang),然后切割制(zhi)作(zuo)成(cheng)的。由于(yu)硅(gui)(gui)(gui)原(yuan)子(zi)的價電子(zi)數(shu)為(wei)4,序數(shu)適中(zhong),所(suo)(suo)以硅(gui)(gui)(gui)元素具(ju)有特(te)(te)殊(shu)的物理化學性(xing)質(zhi),可(ke)用在化工(gong)、光(guang)(guang)伏(fu)、芯(xin)片(pian)等領域。特(te)(te)別是(shi)在芯(xin)片(pian)領域,正式硅(gui)(gui)(gui)元素的半導體(ti)特(te)(te)性(xing),使其成(cheng)為(wei)了(le)芯(xin)片(pian)的基石。在光(guang)(guang)伏(fu)領域,可(ke)用于(yu)太陽能發電。而且地球的地殼中(zhong)硅(gui)(gui)(gui)元素占比達到25.8%,開采較(jiao)為(wei)方便,可(ke)回收(shou)性(xing)強,所(suo)(suo)以價格低廉,進一(yi)步增強了(le)硅(gui)(gui)(gui)的應用范圍(wei)。

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二、硅片怎么分辨等級

每家硅片企業(ye)的標(biao)準都不一樣,僅供參考,以下標(biao)準針(zhen)對(dui)的硅片厚度(du)為220μm。

1、優等品

(1)硅片表(biao)面光(guang)滑潔(jie)凈。

(2)TV:220±20μm。

(3)幾何(he)尺寸:

邊長125±0.5mm。對角(jiao)150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。

邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm。

邊(bian)長(chang)150±0.5mm、156±0.5mm、對(dui)角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度:任意兩(liang)個弧的弦(xian)長之(zhi)差≤1mm。

垂(chui)直度:任意(yi)兩邊的(de)夾角:90°±0.3。

2、合格品

一級品:

(1)表(biao)面有少許污漬、輕微線痕。

(2)220±20μm≤TV≤220±30μm。

(3)幾何尺寸:

邊長125±0.5mm。對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。

邊長103±0.5mm、對(dui)角135±0.5mm。

邊(bian)長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心(xin)度:任意兩個弧的弦(xian)長之差≤1.2mm。

垂(chui)直度:任意兩邊的夾角(jiao):90°±0.5,cheapradiishoes。

二級品:

(1)表面有少許污(wu)漬、線痕(hen)、凹痕(hen),輕微崩邊。

(2)220±30μm≤TV≤220±40μm。

(3)凹(ao)痕:硅片表面凹(ao)痕之和≤30μm。

(4)崩邊范圍:崩邊口(kou)不是三角形狀,崩邊口(kou)長度≤1mm,深度≤0.5mm

(5)幾何尺寸:

邊(bian)長(chang)125±0.52mm、對(dui)角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm。

邊長103±0.52mm、對角135±0.52mm。

邊長150±0.52mm、156±0.52mm、對角203±0.52mm、200±0.52mm。

同心(xin)度:任意(yi)兩個弧的弦(xian)長之差(cha)≤1.5mm。

垂直度:任(ren)意(yi)兩邊的夾角:90°±0.8。

三級品:

(1)表(biao)面有油污但硅片(pian)顏(yan)色(se)不(bu)發黑,有線痕和(he)硅落現象(xiang)。

(2)220±40μm≤TV≤220±60μm。

(3)硅(gui)(gui)落:整張硅(gui)(gui)片(pian)邊(bian)緣硅(gui)(gui)晶脫落或部分硅(gui)(gui)晶脫落。

3、不合格品

(1)嚴重線痕、厚薄片:TV>220±60μm。

(2)崩邊(bian)片:有缺損但可以改Φ103的硅片。

(3)氣(qi)孔片(pian):硅片(pian)中間(jian)有穿孔。

(4)外形(xing)片(pian)(pian):切方滾(gun)圓未能磨出(chu)的硅(gui)片(pian)(pian)。

(5)倒角片(pian)(同心度(du)):任意兩個弧的弦(xian)長之(zhi)差>1.5mm。

(6)菱形片(pian)(垂直度):任意兩邊的夾角>90°±0.8。

(7)凹(ao)痕片:硅片兩面凹(ao)痕之(zhi)和>30μm。

(8)臟片:硅片表面有(you)嚴(yan)重污漬且發黃發黑。

(9)尺寸偏差片(pian):幾何尺寸超過(guo)二級品的范圍(wei)。

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