一、硅片清洗設備維修方法有哪些
1、換能器損壞：
分析(xi)：可能硅片(pian)清洗設備因(yin)長時間處于開機使用(yong)狀態，溫度會逐漸(jian)上升導致膠體融(rong)化換能器脫落或換能器陶瓷部分斷(duan)裂。
檢(jian)測(ce)和解決(jue)：用搖(yao)表測(ce)量換能器(qi)的絕緣強度(du)，絕緣強度(du)在200MΩ以下已無法使(shi)用，須換新的換能器(qi)。
換(huan)能器的內部陶瓷也會由于長期使(shi)用出現斷裂，使(shi)其不能正常工作。
2、硅片清洗設備的保險損壞：
在(zai)開機后如發現(xian)無電源顯示，無動作，首先要看(kan)電源座內保險是否損壞。
分(fen)析：有可(ke)能是(shi)用(yong)戶接地線(xian)與(yu)火線(xian)或(huo)零(ling)線(xian)混用(yong)，并沒(mei)有接地（本機(ji)地線(xian)是(shi)與(yu)機(ji)器外殼相連接），還有可(ke)能是(shi)硅片清洗設備短路，元器件老(lao)化出現(xian)短路現(xian)象，導(dao)致保險損壞。
檢測和解決(jue)：拿出保險(xian)觀(guan)看，有無(wu)斷(duan)(duan)裂，用萬用表通斷(duan)(duan)檔測量是否斷(duan)(duan)開，更換新器件。
3、硅片清洗設備的功率管損壞：
分析：主(zhu)板上的功率管會因為超聲波清(qing)洗機長(chang)時(shi)間不間斷使用或清(qing)洗液體太少長(chang)時(shi)間使用，使功率管出現短路情況(kuang)。
檢測和解決：當功率(lv)管在主板上連(lian)接(jie)式，用萬(wan)用表測量功率(lv)管兩側管腳的阻(zu)值，正常情況下應在22Ω左右。拿下功率(lv)管后（與主板斷開連(lian)接(jie)），測量其(qi)各個管腳間應是不通(tong)的。
二、硅片清洗設備怎么保養
硅片清洗的重要性想必大家是很清楚的，而清洗后硅片表面的各種性能在一定程度上又由清洗設備本身決定，因此，對硅片清洗設備的日常監控和維(wei)護就(jiu)尤為重要。
1、進(jin)行日常(chang)的生(sheng)產時，首先(xian)需準備(bei)少(shao)量(liang)潔凈的硅片（如(ru)10片），每天在進(jin)行正常(chang)的硅片清洗前(qian)，對該10個桂片進(jin)行清洗，且在清洗前(qian)后對該硅片進(jin)行表(biao)面顆粒的檢測，然后對測試結果進(jin)行分析。
如果發(fa)現清洗(xi)(xi)后(hou)硅(gui)片(pian)表(biao)面(mian)的顆粒(li)數跟金屬沾污較(jiao)清洗(xi)(xi)前(qian)減少或無明顯變化(hua)，則表(biao)面(mian)清洗(xi)(xi)設備工(gong)作正常，可(ke)以進行正常的硅(gui)片(pian)清洗(xi)(xi)；如果發(fa)現清洗(xi)(xi)后(hou)硅(gui)片(pian)表(biao)面(mian)顆粒(li)數跟金屬沾污較(jiao)清洗(xi)(xi)前(qian)明顯增加，則表(biao)明清洗(xi)(xi)機工(gong)作異常，需(xu)進行相(xiang)應的維護。
針對此工作也可(ke)以根據(ju)生產的具體情(qing)況對其即進行SPC控制，即：顆(ke)粒去除數(shu)=清(qing)洗后顆(ke)粒數(shu)-清(qing)洗前顆(ke)粒數(shu)
2、硅(gui)片在(zai)清洗過程中，如發現硅(gui)片表面(mian)顆粒跟金屬沾污超標(biao)，則(ze)需進行如下處理：
（1）將(jiang)各槽中原液排干(gan)，用DI水將(jiang)槽子沖洗(xi)一(yi)次，然后(hou)將(jiang)槽中水排盡。
（2）加(jia)入(ru)少許（lgallon）DI水，然(ran)后(hou)加(jia)入(ru)lgal-lonH2O2，再(zai)加(jia)入(ru)少許DI水，然(ran)后(hou)加(jia)工入(ru)lgallonNH4OH，再(zai)加(jia)DI水至槽滿(man)。如果是工藝槽，則(ze)(ze)讓混合液循環2h，否則(ze)(ze)靜置(zhi)2h。
（3）將槽中(zhong)液排盡，用(yong)DI水再(zai)次(ci)(ci)沖洗槽子一次(ci)(ci)，將槽液排盡。
（4）重(zhong)新對清洗設備進行測(ce)試(shi)。
