一、濺射靶材是否屬于稀缺資源

稀(xi)有金(jin)屬(shu)，通常指在自然界中(zhong)含(han)量(liang)較(jiao)少或分布(bu)稀(xi)散的金(jin)屬(shu)，它們難于從原料中(zhong)提取，在工(gong)業上制備和應(ying)用較(jiao)晚(wan)，但在現代工(gong)業中(zhong)有廣泛的用途。中(zhong)國(guo)稀(xi)有金(jin)屬(shu)資源(yuan)豐富，如鎢、鈦、稀(xi)土、釩、鋯、鉭、鈮(ni)、鋰、鈹等(deng)已探明的儲量(liang)，正在逐(zhu)步建(jian)立稀(xi)有金(jin)屬(shu)工(gong)業體系。

稀(xi)有輕金屬：包括鋰(li)Li、銣(ru)Rb、銫Cs、鈹Be。比重較小，化學活性強(qiang)。

稀有難熔(rong)金屬(shu)：包(bao)括鈦(tai)、鋯、鉿、釩、鈮、鉭(tan)、鉬、鎢。熔(rong)點較(jiao)高(gao)，與碳、氮(dan)、硅、硼等生成的化合物(wu)熔(rong)點也較(jiao)高(gao)。

稀(xi)有分(fen)散金(jin)屬：簡(jian)稱稀(xi)散金(jin)屬，包括鎵、銦、鉈、鍺、錸以及(ji)硒(xi)、碲。大部(bu)分(fen)賦存于其他元素的礦物(wu)中(zhong)。

稀有稀土(tu)金屬(shu)：簡稱稀土(tu)金屬(shu)，包括鈧、釔及鑭系元素。它們的(de)化學性(xing)質非常相似，在礦物中(zhong)相互伴生。

稀有放射性金(jin)屬(shu)：包括天(tian)然存在的鈁(fang)、鐳(lei)、釙和錒系(xi)金(jin)屬(shu)中的錒、釷、鏷、鈾，以及人工制(zhi)造的锝、钷(po)、錒系(xi)其他元素(su)和104至107號元素(su)。

上述分類不(bu)是十(shi)分嚴格(ge)的(de)。有些稀有金屬(shu)既可(ke)(ke)以列(lie)(lie)入這(zhe)一(yi)類又可(ke)(ke)列(lie)(lie)入另(ling)一(yi)類。例如錸可(ke)(ke)列(lie)(lie)入稀散金屬(shu)也可(ke)(ke)列(lie)(lie)入稀有難熔金屬(shu)。但是從上述描述中不(bu)難看出，有些特殊應用的(de)濺射(she)靶(ba)材的(de)金屬(shu)成分的(de)確屬(shu)于稀缺資源(yuan)。

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二、貴金屬靶材可以回收再利用嗎

貴金屬靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或殘料什么都是(shi)可(ke)以(yi)(yi)(yi)回(hui)(hui)收(shou)(shou)再(zai)利(li)(li)用(yong)的(de)(de)(de)。比如金(jin)靶(ba)(ba)材、銀(yin)(yin)靶(ba)(ba)材、鈀靶(ba)(ba)材等都可(ke)以(yi)(yi)(yi)回(hui)(hui)收(shou)(shou)再(zai)利(li)(li)用(yong)。以(yi)(yi)(yi)ITO銀(yin)(yin)靶(ba)(ba)材為例，生產(chan)(chan)加工時銀(yin)(yin)靶(ba)(ba)材會被(bei)打穿，產(chan)(chan)生的(de)(de)(de)絲狀殘料這(zhe)些(xie)都是(shi)可(ke)以(yi)(yi)(yi)回(hui)(hui)收(shou)(shou)再(zai)利(li)(li)用(yong)的(de)(de)(de)，廢料上會沾染少量(liang)的(de)(de)(de)銦，說是(shi)氧(yang)化用(yong)的(de)(de)(de)，這(zhe)種銦元素處(chu)理一下就(jiu)可(ke)以(yi)(yi)(yi)了(le)。所以(yi)(yi)(yi)含金(jin)、銀(yin)(yin)、鈀、鉑(bo)、銠這(zhe)些(xie)貴(gui)金(jin)屬的(de)(de)(de)靶(ba)(ba)材都可(ke)以(yi)(yi)(yi)回(hui)(hui)收(shou)(shou)再(zai)利(li)(li)用(yong)的(de)(de)(de)，還有合金(jin)靶(ba)(ba)材之類的(de)(de)(de)。